Occasion VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375123 à vendre en France
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Le réacteur VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN (nitrure de gallium) est un équipement épitaxié de pointe conçu pour le traitement d'une large gamme de matériaux microélectroniques avancés. Ce réacteur utilise une technologie de dépôt de couches uniforme pour produire une grande variété de dispositifs complexes et précis tels que SMART-MEMS, électronique de puissance, LED, et d'autres composants optoélectroniques. VEECO TurboDisc K465i GaN est un réacteur épitaxié à haute température configuré pour le dépôt d'offilms et de composites à large gamme avec des propriétés structurales et électriques supérieures. Ce système intègre un profil de température réglable pour maximiser l'uniformité, ainsi que des capteurs de température et de pression pour améliorer la surveillance et le contrôle des processus. L'unité fournit des produits de qualité cristalline supérieure avec des performances précises, répétables et à haut débit, atteignant jusqu'à 200 mm/min. Il est également capable de fonctionner avec un large éventail de précurseurs, y compris des silanes, des sources organométalliques, des hydrures et d'autres composés azotés et du groupe III. Pour faciliter le fonctionnement efficace et le contrôle de précision, la machine est équipée de deux générateurs RF indépendants pour le dépôt de GaN, ainsi que de chambres de gravure et de dépôt. L'outil dispose également d'un atout avancé pour la livraison de gaz, d'une technologie de pompage de précision et de pompes turbomoléculaires pour une livraison de gaz précise. De plus, le modèle est compatible avec les outils de conception standard de l'industrie afin de faciliter la conception des appareils et l'analyse des signaux. En outre, l'équipement dispose de la technologie de pression arrière adaptative (ABP) pour améliorer l'uniformité du film. L'ABP permet un traitement rapide et ininterrompu des plaquettes afin de réduire le temps de cycle total, ainsi que de minimiser la consommation de précurseurs et de gaz pour économiser sur les coûts d'exploitation. Intégrant des caractéristiques de sécurité avancées, EMCORE TurboDisc K465i GaN est conçu pour un fonctionnement et des performances efficaces. Avec de multiples méthodes sécuritaires et des capacités d'alerte utilisateur, le système travaille toujours pour assurer la sécurité pendant le fonctionnement. Dans l'ensemble, le réacteur TurboDisc K465i GaN est une unité épitaxiale avancée conçue pour la plus grande précision et efficacité dans la production d'une grande variété de structures microélectroniques complexes et précises. Avec une qualité de cristal supérieure, des profils de température réglables et une pression arrière adaptative, cette machine est un choix idéal pour créer des structures extrêmement précises et spécialisées.
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