Occasion VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375129 à vendre en France
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VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN est un réacteur à plasma haute performance conçu pour la production de films minces de haute qualité. Le réacteur permet le dépôt de couches minces homogènes de haute qualité et à haute température sur de grandes surfaces dans un procédé reproductible. Le TurboDisc utilise des sources d'énergie avancées pour générer un plasma alimenté en courant continu ou en impulsions. Ce plasma est introduit dans une source unique et très uniforme de disque réactif thermique (TRD), permettant un meilleur contrôle des propriétés plasmatiques. Le réacteur est conçu pour maintenir une puissance constante sur une surface allant jusqu'à 20 cm2, minimisant la non-uniformité du film. Les caractéristiques de haute performance du TurboDisc lui permettent de traiter tout nombre de gaz utilisés dans le dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) et le dépôt à basse température (LTD/ALD). Il peut également être utilisé pour introduire une variété de dopants ou de catalyseurs dans le procédé de dépôt, permettant le contrôle du procédé. Le réacteur est équipé d'un système de régulation de température et d'uniformité très précis. Cela permet un dépôt fin précis et reproductible avec une excellente uniformité thermique sur la grande surface. Le capteur de température est intégré à l'élément de détection, fournissant une lecture précise et en temps réel du processus. Le TurboDisc dispose également d'un système de contrôle intégré qui permet une intégration complète et le contrôle des processus. Il peut être programmé avec un large éventail de paramètres pour la production automatisée et répétable de films. La capacité de mesurer et de contrôler avec précision les paramètres du processus critique garantit la qualité et la cohérence des films. Le TurboDisc est également équipé de caractéristiques de sécurité avancées qui garantissent des normes de sécurité rigoureuses et une production répétable, uniforme et de qualité. Cela permet au réacteur d'être exploité de façon sûre et cohérente dans n'importe quel environnement de production. Dans l'ensemble, VEECO TurboDisc K465i GaN est un réacteur puissant et fiable qui offre un meilleur contrôle des procédés, un contrôle uniforme de la température et une reproductibilité fiable des procédés. Il est conçu pour fournir des films minces de haute qualité et uniformes avec des rendements reproductibles. La conception robuste et fiable garantit un processus de dépôt sûr et efficace.
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