Occasion VEECO / EMCORE TurboDisc K475 As/P #9375083 à vendre en France

VEECO TurboDisc K475 As/P est un réacteur épitaxié avancé à haut débit pour la fabrication de couches cristallines minces. Le réacteur utilise une source de plasma à couplage inductif (ICP) et une combinaison de deux axes et de quatre étages pour une action simultanée afin d'offrir des performances et une souplesse d'équipement uniques. La chambre utilise une conception tribride pour améliorer l'efficacité de pompage et une base céramique unique qui réduit les effets de gradients thermiques et de chargement RF non uniforme qui permettent d'améliorer l'uniformité. La puissance turbo du PIC permet de maintenir un taux de dépôt ultra-élevé allant jusqu'à 10nm/min, garantissant une épaisseur de film répétable et une grande uniformité de dépôt. La chambre à deux axes permet une grande uniformité de surface avec des temps d'échange de tranche à tranche rapides. Le procédé multi-stations à quatre mandrins permet de produire une grande surface de substrat tout en conservant une homogénéité. Le K475 As/P est équipé d'un refroidissement efficace des plaquettes et d'une isolation thermique grâce à des cales de processus stratégiquement espacées et des gousses d'isolement qui minimisent la dérive et permettent une performance thermique stable. Le système est également conçu avec des systèmes de manutention semi-automatisés haut de gamme qui augmentent le débit et permettent un fonctionnement facile tout en offrant un environnement plus propre. L'unité est entièrement informatisée avec interface tactile pour une surveillance, un contrôle et un entretien facile des recettes. Il offre une combinaison unique de rétroaction de processus en temps réel, d'enregistrement de données et de programme graphique pour améliorer les performances de rendement. Il inclut aussi des processus avancés tels que le Chat-CVDTM, BoostTM, ALD, MOCVD, PCR et PECVD, qui permettent la fabrication de films de haute qualité. En outre, la machine comprend également la maintenance de l'accès à distance et l'étalonnage avec autodiagnostic pour la fatigue des pièces, le délai de démarrage, et bien plus encore. Avec toutes ces fonctionnalités, le K475 As/P offre une solution de fabrication fiable et efficace pour une variété d'applications de semi-conducteurs difficiles.