Occasion VEECO / EMCORE TurboDisc K475i As/P #9231840 à vendre en France

Réacteur VEECO TurboDisc K475i As/P est un dispositif de moyenne puissance offrant des performances de dépôt polyvalentes et de haute qualité dans les applications semi-conductrices et opto-électroniques. Il s'agit d'un réacteur à quatre zones en bateau à quartz, qui permet un dépôt sophistiqué à haut débit. Le réacteur est optimisé pour le dépôt de matériaux tels que Si, SiC, Ge, GaAs, AlN et GaN, ainsi que pour des applications de revêtement optique. Le réacteur est équipé d'une source d'alimentation active avancée qui permet aux utilisateurs de faire varier la puissance de la source de 10 à 450 watts par zone, ce qui permet de déposer des matériaux à haut débit sur différents substrats. De plus, le K475i As/P utilise une alimentation impulsionnelle capable de délivrer des impulsions jusqu'à une fréquence de 100 kHz pour des dépôts à haut débit de répétition. De plus, l'unité est également capable de réaliser un recuit thermique rapide. Le réacteur dispose également de deux systèmes indépendants de contrôle des gaz, qui permettent un contrôle précis du débit des gaz de procédé. Cela permet aux utilisateurs de contrôler indépendamment la pression de la chambre de procédé, et la quantité de gaz déposé. En outre, le K475i possède également un dispositif de refroidissement actif intégral, qui permet de maintenir la température du substrat et l'intégrité du processus de dépôt. Le contrôle intégral de la température permet également de réduire la température lors d'applications à grande vitesse de pointe. De plus, le système d'obturation escamotable assure un contrôle dynamique de la vitesse et de l'angle de dépôt. Le champ magnétique de l'accélérateur est entièrement réglable et peut être programmé pour optimiser les performances du système pour une application spécifique. En outre, le K475i dispose d'un système de diagnostic intégré complet qui comprend la capacité de mesurer la puissance RF, la tension du résonateur, la fréquence et la température. Combinées, ces caractéristiques font du K475i un dispositif de dépôt de matériaux puissant et fiable.