Occasion VEECO / EMCORE TurboDisc MaxBright #293667120 à vendre en France

Le réacteur TurboDisc de VEECO/EMCORE est un puissant outil de traitement de semi-conducteurs conçu pour le dépôt efficace de couches minces et de nanostructures sur de grandes surfaces sur une courte période de temps. C'est le premier système de dépôt en couches minces, larges et rapides commercialement disponible qui utilise une conception avancée de chambre à trois disques pour maximiser le débit et les performances. Le TurboDisc s'appuie sur la technologie d'évaporation par faisceau d'électrons (EB) pour déposer des matériaux sur des plaquettes ou des substrats avec une couverture 3D conforme double face. Le canon EB fonctionne à des fréquences RF élevées pour faire tourner plusieurs faisceaux d'électrons avec des orbitales variables afin d'atteindre la cible souhaitée sur le substrat. Il en résulte un dépôt plus rapide que les méthodes traditionnelles de dépôt à source unique, ce qui permet de réduire considérablement les défauts et les dommages au substrat. La chambre a un design propre et modulaire de sorte que la machine est facile à entretenir et à reconfigurer. Il comporte un étage de substrat de 13 pouces et peut s'adapter à tout motif de plus de 130 plaquettes à traiter en un seul cycle à des vitesses allant jusqu'à 30 plaquettes par minute. Le système a également une distance substrat-tête de douche de 12,7 « pour le dépôt à grande surface, et une hauteur de la chambre de processus de 15,75 » qui permet le dépôt dans une large gamme de production de masse de débit et de flexibilité maximale du processus. Le TurboDisc dispose d'un moniteur haute résolution et d'une interface graphique conviviale (interface graphique) avec plusieurs options de contrôle de processus telles que le dépôt double bande et multicouche. Il dispose également d'un contrôle algorithmique à grande vitesse et de la gestion des recettes pour suivre plusieurs tâches et recettes. Le logiciel permet également la gestion à distance des systèmes et la surveillance des paramètres de processus. Le TurboDisc utilise les dernières technologies de matériel et est le réacteur le plus avancé de l'industrie pour la production en grand volume de films minces et de nanostructures. Il est conçu pour augmenter le débit et minimiser les pertes de matières, en assurant le rendement le plus élevé par tranche et le rendement le plus élevé de l'investissement pour un certain nombre d'applications de dépôt de grandes surfaces.