Occasion WATKINS-JOHNSON 1000H #199252 à vendre en France
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Vendu
ID: 199252
Reactor / Hydride system, 8"
3.0 system with exhaust modified to 2.0 inch for better uniformity
Silane (SiH4) based SiO2
Tool was devoted to SiO2 only; Never ran dopants
Voltage: 208, 50/60hz, 3 phase
(2) Sets of parallel plate injectors
Planned processes:
Film type: NSG, Chamber 1: 380°C deposition temp., 250A thickness, 8", 11ipm belt speed
Film type: NSG, Chamber 4: 380°C deposition temp., 2000A thickness, 8", 11ipm belt speed
Film type: NSG, Chamber 4: 380°C deposition temp., 1000A thickness, 8", 11ipm belt speed
Gas box:
(4) D1N2, 10slm, Lintech MC-200B, 100% concentration
(4) O2, 1.5slm, Lintech MC-2100O, 100% concentration
(4) Sep N2, 20slm, Lintech MC-200B, 100% concentration
(4) B2H6
(4) PH3
(4) SiH4, 0.2slm, Lintech MC-2100MO, 20% concentration, N2 balance gas
(4) D2N2, 6slm, Lintech MC-200B, 100% concentration
Cable lengths:
UPS Communication Cable (Note 1) 40ft, Part No: 815003-378
Communication Cable (Note 2) 20ft, Part No: 815001-732
Reactor Facility Cable 40ft, Part No: 907233-004
UPS Power Cable 10 40ft, Part No: 985227-004
UPS Extension Cable 30ft, Part No: 907202-003
Exhaust modifications done at time of original build:
3.0 to 2.0 Exhaust Downgrade Kit:
A) (8) Adaptor Assy, 3.0 to 2.0 Orifice
B) Toroidal 3.0 to 2.0 orifice installation kit (replaces 912010-001)
C) Process output plumbing kit (replaces 912106-001)
D) Hoist Adaptor Kit
E) 2.0 Muffle Etch Hardware:
3 color signal tower: Green-Yellow-Red
SECS II SW option
English software
Modifications by OEM:
1 - The 3" exhaust was modified at the torrodial orifices to 2" that can provide better on wafer uniformity for the SiO2 film
The torrodials, bellows, and injector vents also have 2" exhaust type
Downstream of the torrodials to the house exhaust the system is the standard 3" type
2 - Gas box has SiH4, N2, and O2 MFC's, but never had dopant (B2H6 and PH3) MFC's installed for BPSG films
This tool has never run dopants
There are SS tube spools in place where the dopant MFC's would normally be placed
If the buyer wants to run doped films that is no problem, they just need to add the MFC's into the tool
The original owner only used the tools for various SiO2 films and wanted to keep them (and the system) as pure and dopant free as possible
UPS may not be included/or non-functional due to age
Tool is de-installed, barrier bagged, and crated
Currently stored in a warehouse
1996 vintage.
WATKINS-JOHNSON 1000H est un réacteur de qualité avancée conçu pour des expériences approfondies de physique nucléaire. Il s'agit d'un réacteur compact à haut flux de neutrons (CNR), généralement utilisé dans les laboratoires de recherche pour simuler des réactions nucléaires et mesurer les niveaux de rayonnement. Le réacteur est un outil idéal pour les laboratoires, les universités et les centrales car il est capable de produire des flux de neutrons très élevés. Il dispose d'un système de sécurité intégré, ainsi que d'une gamme de technologies brevetées qui permettent des performances fiables et sûres. 1000H est composé d'un coeur de réacteur central, d'un blindage entouré, d'un réflecteur et d'un modérateur en graphite et d'une chambre de plénum. Le coeur du réacteur est rempli d'uranium fortement enrichi pour créer une réaction nucléaire. Le réflecteur et le modérateur de graphite contrôlent le flux de neutrons et limitent la gamme des réactions. La chambre de plénum permet l'afflux et l'écoulement des fluides de refroidissement ; le réacteur est capable de fonctionner pendant de longues périodes sans nécessiter de maintenance programmée. Le système intégré de sûreté du réacteur WATKINS-JOHNSON 1000H est conçu pour surveiller les performances du réacteur et les anomalies éventuelles. Il dispose de nombreux capteurs et détecteurs qui enregistrent et enregistrent des données sur le flux de neutrons, la criticité et les niveaux de rayonnement. De plus, le réacteur est équipé d'un système d'arrêt d'urgence, conçu pour arrêter immédiatement le réacteur en cas de situation dangereuse. 1000H réacteur a une puissance maximale de 1000 watts. Il est de petite taille et facilement accessible, offrant des performances et des données fiables dans un environnement hautement réglementé. Le réacteur est un outil populaire parmi les physiciens nucléaires, fournissant une gamme de fonctions utiles, y compris la détermination du flux de neutrons, les mesures transversales et les analyses radiochimiques. Le réacteur WATKINS-JOHNSON 1000H est un outil de recherche robuste, avancé et fiable.
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