Occasion WATKINS JOHNSON WJ-TEOS999 #293831160 à vendre en France
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ID: 293831160
CVD System, 6"
Type: APCVD (USG / PSG / BPSG)
Ozone generation: SUMITOMO with (4) Cells
(3) Injectors: IVA's with Monoblock
(3) Canisters: TEOS, TMB, TMP
CSR
(9) Bubblers
Belt cleaning: HF Bubbler
Temperature: 500°C
Cooling system: Water
Throttle valve: MKS with controller
Toroidal orifices: 6 x 3" with spring
Belt: Inconel
(25) Slot case
(4) Cassette
Wafer detecting
Controller: Pentium (2) PC
Gas controller: 3.89
Temp controller: 2.57
Handler: 4.47
PLC: 1.36
Gas configuration:
- / Injector#1 / Injector#2 / Injector#3
O2/O3 / MFC O2 15 SLM / MFC O2 15 SLM / MFC O2 15 SLM
D1N2 / MFC N2 6 SLM / MFC N2 6 SLM / MFC N2 6 SLM
SPN2 / MFC N2 20 SLM / MFC N2 20 SLM / MFC N2 20 SLM
D2N2 / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM
SIH4 / MFC N2 150 SCCM / MFC N2 150 SCCM / MFC N2 150 SCCM
PH3 / MFC N2 400 SCCM / MFC N2 400 SCCM / MFC N2 400 SCCM
B2H6 / MFC N2 300 SCCM / MFC N2 300 SCCM / MFC N2 300 SCCM
DILL N2 / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM
TEOS / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 1.5 SLM
TMP / MFC N2 500 SCCM / MFC N2 500 SCCM / MFC N2 150 SCCM
TMB / MFC N2 100 SCCM / MFC N2 100 SCCM / MFC N2 50 SCCM
Power supply: 208 VAC, 3 Phase.
WATKINS JOHNSON WJ-TEOS999 est un type de réacteur nucléaire à haute température refroidi par gaz inerte conçu pour des applications commerciales. Il s'agit d'un réacteur à combustible solide avec une cuve sous pression en acier inoxydable et en acier au carbone, et est conçu pour utiliser du thorium combustible. Le thorium est un élément légèrement radioactif qui peut être utilisé comme combustible dans les réacteurs nucléaires. Elle a l'avantage d'être abondante, de coûter moins cher et d'avoir moins de sous-produits radioactifs à long terme que les combustibles traditionnels à base d'uranium. Le thorium a une teneur énergétique plus élevée que l'uranium et produit plus d'énergie par unité de masse que les combustibles traditionnels. Le réacteur WJ TEOS 999 de WATKINS JOHNSON est un réacteur à neutrons thermiques modérés en graphite à haute température. Dans ce type de réacteur, un modérateur en graphite entoure le combustible, augmentant le nombre de neutrons thermiques libérés du combustible. Ceci augmente les chances de réactions de fission qui génèrent de l'énergie pour le réacteur. Le réacteur fonctionne à plus de 900 degrés Celsius et est refroidi par du gaz hélium. Le réacteur intègre plusieurs caractéristiques de sécurité pour assurer un fonctionnement sûr. Il s'agit notamment de récipients à double confinement, d'absorbeurs de neutrons et de tiges de décharge d'eau. Les récipients à double confinement rendent impossible le rejet de radioactivité dans l'environnement. Les absorbeurs de neutrons et les barres de vidange d'eau permettent de contrôler la réaction de fission et l'arrêt d'urgence en cas de problème. WJ-TEOS 999 est un réacteur fiable et économique qui a été utilisé dans plusieurs centrales. Le réacteur a été certifié pour la sûreté par l'Agence internationale de l'énergie atomique (AIEA). On s'attend à ce qu'elle continue à jouer un rôle important dans l'industrie nucléaire à l'avenir.
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