Occasion ADE / KLA / TENCOR 8100 #9187693 à vendre en France
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Vendu
ID: 9187693
Taille de la plaquette: 4"-6"
Style Vintage: 1986
Microscan system, 4"-6"
2 in / 4 out
Alignment station
Flatness station
High res station
ASC Controller
Accessories included
Sender elevators:
One/two senders
Deliver wafers from cassettes to the main transport belt
Prealigner:
Centers wafers on vacuum chuck
Aligns them with reference to primary flat/notch
Determines locations of up to four secondary flats
Flatness station:
Measures operator-specified portion of wafer surface
Calculates minimum, maximum, centerpoint, and average thickness
(MINTHK, MAXTHK, CTRTHK, AVETHK)
Thickness variation (TTV)
Focal plane deviation (FPD)
Total Indicator reading (TIR)
Total Indicator reading at localized areas (SITE TIR)
Percent usable area based on thickness
(THICK PUA), FPD (FPD PUA) and SITE TIR (SITE TIR PUA) sem I conductor type
Resistivity station:
Measures resistivity at one user-programmed point on the wafer surface
Receiver elevators:
One - four receivers
Transport wafers
Main transport belts to cassettes
1986 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 8100 est un microscope électronique avancé à balayage à l'état solide (SSEM) conçu pour offrir aux utilisateurs des avantages d'imagerie importants dans une variété d'applications scientifiques et industrielles. ADE 8100 dispose de technologies uniques, y compris un générateur multi-motifs qui utilise la sonde focalisée de faisceau d'électrons pour acquérir plusieurs images avec une dérive et une distorsion minimales de l'échantillon, permettant une imagerie précise avec des artefacts minimaux. KLA 8100 est piloté par un système de contrôle intégré, comprenant un microscope à balayage de haute précision avec un processeur et amplificateur numérique intégré. Ce système permet une précision d'imagerie et un débit de balayage inégalés. De plus, les étages de mouvement de précision et les actionneurs permettent à TENCOR 8100 d'atteindre des résolutions élevées en fonctionnement de balayage. Pour améliorer la qualité de l'imagerie, la 8100 est équipée d'entrées haute fréquence qui peuvent réduire la gigue et le bruit, et de capacités complètes d'auto-alignement pour augmenter la précision des échantillons. Pour la commande de mouvement, ADE/KLA/TENCOR 8100 dispose de moteurs à balayage rapide avancés et de commandes omnidirectionnelles pour un balayage lisse et précis. Son logiciel d'imagerie est conçu pour fournir une qualité d'imagerie de haut niveau à tout agrandissement. De plus, l'ADE 8100 dispose d'une suite automatisée de caractérisation des échantillons pour permettre aux chercheurs de mesurer facilement les propriétés physiques, électriques et d'autres matériaux. Son interface conviviale permet aux chercheurs de travailler à distance et de visualiser des échantillons de données via des navigateurs Internet. KLA 8100 offre également des possibilités d'analyse complètes avec des fonctions telles que la reconstruction d'images 3D et l'analyse de détectivité. En résumé, TENCOR 8100 est un SSEM puissant conçu pour gérer l'analyse et l'imagerie de données rigoureuses. Ses systèmes de contrôle intégrés, ses étapes de mouvement, ses logiciels d'imagerie et sa suite de caractérisation automatisée le rendent idéal pour une gamme d'applications industrielles et scientifiques.
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