Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM 2 #9094373 à vendre en France
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Vendu
ID: 9094373
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 12"
Includes:
Thermally assisted field emission electron gun
Patented electron optics (YAP detector included)
SEM Autofocus and auto stigmation module
(3) Open cassette ports, 12"
Standing / Sitting operator console
3D Sidewall imaging
Signal tower
Thermal video and alphanumeric printers
Central recipe database server
Metrology
Lines and CH slope: (2) Angle, (2) Height
Repeatability: L-0.45 nm, CH-0.55 nm (1) 1°/ 1° / 1° 10 nm / 10nm / 17nm
Reproducibility: L-0.45 nm, CH-0.55 nm (1) 1° / 1° / 1° 10 nm / 10nm / 17nm
VeritySEM2: 0.9 nm
Imaging:
Image resolution: 1.65 nm at (4) 800, 0 V
Side wall imaging: (5) 15° Tilt at 4 directions
HAR Imaging: 1:30 Features
(7) ABW: 10.5 nm
Accelerating voltage: 0.2 kV - 2.5 kV
Extraction voltage up to 4 kV
Probe current: 5 pA - 500 pA
System performance:
Throughput: (6) Lines / Spaces slope / Height
5 Sites / Wafer: 65 WPH 13 WPH
20 Sites / Wafer: 33 WPH
PR Success rate: 99.70%
MTBF: 1,000 Hours
MTTR: 4 Hours
MTBA: 24 Hours
Availability: 95%
Wafer particle contamination:
Front 0.09 um particles 25 PWP / Wafer (With mini environment)
Front 0.2 um particles 5 PWP / Wafer (With mini environment)
Back 0.2 um particles 3000 PWP / Wafer (With mini environment)
Equipment parameters:
Wafer size: 6"-12"
Optical magnification 16x, 220x (FOV: 450 mm - 6000 mm)
SEM magnifications: 1,000x to 400,000x (100 mm - 0.25 mm)
Stage: 300 mm/s With continuous motion trackball
Host: 19.4 CBM
FFU: 2.0 CBM
Workstation: 2.5 CBM
UPS, Chiller and electric disk: 2.1 CBM
Does not include dry pump
2003 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Le ver SEM 2 est un microscope électronique à balayage (SEM) utilisé pour l'analyse des matériaux et des surfaces. Il permet à l'utilisateur d'observer, caractériser et manipuler des échantillons à l'échelle nanométrique. Cet instrument puissant et polyvalent est un outil précieux pour la recherche et le développement. Le système comprend plusieurs sous-systèmes de base, dont le canon à électrons, le porte-échantillon, l'optique électronique et le détecteur. Le canon à électrons génère un faisceau d'électrons qui sont ensuite focalisés et balayés sur la surface de l'échantillon. Le porte-échantillon est utilisé pour localiser et positionner l'échantillon pour le faisceau d'électrons. L'optique électronique est responsable de la focalisation des électrons sur la surface de l'échantillon ainsi que de leur grossissement et détection. Le détecteur est utilisé pour analyser les électrons qui sont diffusés de l'échantillon. L'instrument AMAT VercentreSEM 2 est un instrument très précis et polyvalent, qui permet à l'utilisateur de réaliser un large éventail d'analyses. Avec sa capacité à réaliser des grossissements jusqu'à 50.000x, MATÉRIAUX APPLIQUÉS VERITY SEM 2 est un outil idéal pour étudier les caractéristiques nanométriques. L'option Sputter Ion Source permet en outre la structuration de surface et la gravure par pulvérisation. Cette caractéristique permet de manipuler la surface de l'échantillon à l'échelle nanométrique, comme le dépôt ou le retrait de films, la gravure des pulvérisateurs, le nettoyage des pulvérisateurs et le marquage. VERITY SEM 2 dispose également d'une large gamme de capacités analytiques. Son option de spectroscopie à rayons X dispersifs en énergie (EDS) permet la caractérisation élémentaire de l'échantillon, et son imagerie filtrée en énergie permet à l'utilisateur d'imaginer avec précision différentes caractéristiques chimiques et structurelles avec une résolution nanométrique. Le système offre également la capacité d'effectuer l'imagerie électronique rétrodiffusée, ce qui permet une inspection visuelle convaincante des caractéristiques de surface du matériau. En conclusion, VersantéSEM 2 est un instrument puissant et polyvalent, adapté à la caractérisation des matériaux et à la manipulation des surfaces des échantillons. Sa capacité à résoudre les caractéristiques nanométriques, ainsi que son large éventail de capacités analytiques, en font un outil efficace pour la recherche et le développement.
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