Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM 2 #9094373 à vendre en France

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ID: 9094373
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 12" Includes: Thermally assisted field emission electron gun Patented electron optics (YAP detector included) SEM Autofocus and auto stigmation module (3) Open cassette ports, 12" Standing / Sitting operator console 3D Sidewall imaging Signal tower Thermal video and alphanumeric printers Central recipe database server Metrology Lines and CH slope: (2) Angle, (2) Height Repeatability: L-0.45 nm, CH-0.55 nm (1) 1°/ 1° / 1° 10 nm / 10nm / 17nm Reproducibility: L-0.45 nm, CH-0.55 nm (1) 1° / 1° / 1° 10 nm / 10nm / 17nm VeritySEM2: 0.9 nm Imaging: Image resolution: 1.65 nm at (4) 800, 0 V Side wall imaging: (5) 15° Tilt at 4 directions HAR Imaging: 1:30 Features (7) ABW: 10.5 nm Accelerating voltage: 0.2 kV - 2.5 kV Extraction voltage up to 4 kV Probe current: 5 pA - 500 pA System performance: Throughput: (6) Lines / Spaces slope / Height 5 Sites / Wafer: 65 WPH 13 WPH 20 Sites / Wafer: 33 WPH PR Success rate: 99.70% MTBF: 1,000 Hours MTTR: 4 Hours MTBA: 24 Hours Availability: 95% Wafer particle contamination: Front 0.09 um particles 25 PWP / Wafer (With mini environment) Front 0.2 um particles 5 PWP / Wafer (With mini environment) Back 0.2 um particles 3000 PWP / Wafer (With mini environment) Equipment parameters: Wafer size: 6"-12" Optical magnification 16x, 220x (FOV: 450 mm - 6000 mm) SEM magnifications: 1,000x to 400,000x (100 mm - 0.25 mm) Stage: 300 mm/s With continuous motion trackball Host: 19.4 CBM FFU: 2.0 CBM Workstation: 2.5 CBM UPS, Chiller and electric disk: 2.1 CBM Does not include dry pump 2003 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Le ver SEM 2 est un microscope électronique à balayage (SEM) utilisé pour l'analyse des matériaux et des surfaces. Il permet à l'utilisateur d'observer, caractériser et manipuler des échantillons à l'échelle nanométrique. Cet instrument puissant et polyvalent est un outil précieux pour la recherche et le développement. Le système comprend plusieurs sous-systèmes de base, dont le canon à électrons, le porte-échantillon, l'optique électronique et le détecteur. Le canon à électrons génère un faisceau d'électrons qui sont ensuite focalisés et balayés sur la surface de l'échantillon. Le porte-échantillon est utilisé pour localiser et positionner l'échantillon pour le faisceau d'électrons. L'optique électronique est responsable de la focalisation des électrons sur la surface de l'échantillon ainsi que de leur grossissement et détection. Le détecteur est utilisé pour analyser les électrons qui sont diffusés de l'échantillon. L'instrument AMAT VercentreSEM 2 est un instrument très précis et polyvalent, qui permet à l'utilisateur de réaliser un large éventail d'analyses. Avec sa capacité à réaliser des grossissements jusqu'à 50.000x, MATÉRIAUX APPLIQUÉS VERITY SEM 2 est un outil idéal pour étudier les caractéristiques nanométriques. L'option Sputter Ion Source permet en outre la structuration de surface et la gravure par pulvérisation. Cette caractéristique permet de manipuler la surface de l'échantillon à l'échelle nanométrique, comme le dépôt ou le retrait de films, la gravure des pulvérisateurs, le nettoyage des pulvérisateurs et le marquage. VERITY SEM 2 dispose également d'une large gamme de capacités analytiques. Son option de spectroscopie à rayons X dispersifs en énergie (EDS) permet la caractérisation élémentaire de l'échantillon, et son imagerie filtrée en énergie permet à l'utilisateur d'imaginer avec précision différentes caractéristiques chimiques et structurelles avec une résolution nanométrique. Le système offre également la capacité d'effectuer l'imagerie électronique rétrodiffusée, ce qui permet une inspection visuelle convaincante des caractéristiques de surface du matériau. En conclusion, VersantéSEM 2 est un instrument puissant et polyvalent, adapté à la caractérisation des matériaux et à la manipulation des surfaces des échantillons. Sa capacité à résoudre les caractéristiques nanométriques, ainsi que son large éventail de capacités analytiques, en font un outil efficace pour la recherche et le développement.
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