Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM 2 #9359397 à vendre en France
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Vendu
ID: 9359397
Taille de la plaquette: 6"-12"
Style Vintage: 2004
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 6"-12"
Upgraded from VeritySEM
Hard Disk Drive (HDD) not included
Thermally assisted field emission electron gun
Patented electron optics (Including YAP Detector)
SEM Autofocus and autostigmation module
(3) Open cassette ports, 12"
Standing / Sitting operator console
3D Sidewall imaging
Signal tower
Central recipe database server (Tower type)
Repeatability:
Lines and CH-L-0.45nm CH-0.55nm
Slope angle STI/DD / Litho: 1deg / 1deg / 1deg
Height STI / D.Dam / Litho: 10nm / 10nm / 17nm
Reproducibility:
Lines and CH L-0.45nm CH-0.55nm
Slope angle STI / DD / Litho: 1deg / 1deg / 1deg
Height STI / D.Dam / Litho: 10nm / 10nm / 17nm
Matching: Lines and CH 0.9nm
Imaging:
Image resolution: 1.65 nm at 8000 V
Side wall imaging: 15 ° tilt at 4 directions
HAR Imaging: 1:30 Features
ABW: 10.5 nm
Accelerating voltage: 0.2 kV to 2.5 kV
Extraction: Up to 4 kV
Probe current: 5 pA - 500 pA
Throughput:
5 Sites / Wafer: Lines / Spaces 65 WPH
Slope / Height 13 WPH
20 Sites / Wafer: Lines / Spaces 33 WPH
MTBF: 1,000 hours
MTTR: 4 hours
MTBA: 24 hours
Availability: 0.95
Wafer particle contamination:
Front 0.09 um particles: 25 PWP / Wafer
Front 0.2 um particles: 5 PWP / Wafer
Back 0.2 um particles: 3000 PWP / Wafer
Carbonization: 0.05 nm per visit
Parameters:
Optical magnification: 16x, 220x
SEM Magnifications: 1,000x to 400,000x
Stage: 300 mm/s
With continuous motion trackball
2004 vintage.
MATÉRIAUX D'AMAT/APPLIQUÉS Le microscope électronique à balayage VSEM 2 est un équipement à haute résolution utilisé pour analyser les caractéristiques nanométriques d'une variété de matériaux. Le dispositif est équipé d'une source d'électrons à canon à émission de champ (FEG) qui produit un faisceau d'électrons focalisé à haute énergie, qui est utilisé pour l'image et l'analyse des objets à la résolution nanométrique. L'instrument est livré avec une gamme complète de matériel, de logiciels et d'options qui lui permettent de fonctionner comme un dispositif d'imagerie, une plate-forme analytique, et même un système de caractérisation de matériel basé sur l'imagerie. AMAT VercentreSEM 2 est capable de produire une image avec une résolution allant jusqu'à 50 nm, et avec une profondeur de vue allant jusqu'à 10 µm. Cela le rend bien adapté à l'étude des caractéristiques et des structures ultra-fines. Sa haute résolution le rend idéal pour l'imagerie, l'analyse et la caractérisation des matériaux à l'échelle nanométrique. L'instrument a une plage de tension d'accélération de 0,3 à 30 kV, ce qui le rend capable de fonctionner à différents grossissements et profondeurs. Il est également équipé d'une unité in-lens qui permet l'étude de processus dynamiques tels que les effets de la tension d'accélération et le traitement d'image. MATÉRIAUX APPLIQUÉS VERITY SEM 2 est complété par une gamme d'accessoires comprenant un détecteur EDS, un détecteur EBSD, un détecteur de bord et un cryo-étage. Les détecteurs EDS et EBSD permettent à l'utilisateur d'effectuer respectivement une analyse élémentaire et une analyse cristallographique. Le détecteur de bord est idéal pour localiser des caractéristiques structurelles minuscules et des surfaces inégales. L'étape cryo permet à l'utilisateur d'observer des échantillons dans un environnement cryogénique. VERITY SEM 2 peut être commandé à distance à l'aide de l'écran tactile de la machine ou par ordinateur. En outre, son interface utilisateur graphique à distance offre un accès à une variété de paramètres. Cette machine de contrôle et de reporting à l'écran permet à l'utilisateur d'obtenir plus facilement les résultats souhaités en moins de temps. AMAT VERITY SEM 2 est un microscope électronique à balayage puissant et hautement configurable qui offre une gamme de caractéristiques et d'avantages. Ses capacités d'imagerie haute résolution, d'analyse cristalline et de contrôle des processus dans les lentilles en font un outil indispensable pour l'imagerie et l'analyse à l'échelle nanométrique.
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