Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM #9280532 à vendre en France
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ID: 9280532
Taille de la plaquette: 8"
Automated CD metrology system, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer cassette: PP Miraial, 12"
No SMIF Interface
Electron optical system:
Electron gun SCHOTTKY emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300 V - 2000 V
Prober current: Low 5pA / Medium 10pA / High 20pA
3-Stage Electromagnetic lenses
System with boosting voltage beam deflector module
Objective lens:
Scan coil 2-stages: Electromagnetic deflection (X-axis & Y-axis)
Magnification: 1,000x - 400,000x (100um - 0.25um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Aspect ratio: >20:1
Resolution: 2nm (500V)
Optical microscope system:
Camera monochrome: CCD Camera
Magnification: 16x / 220x (450 um / 6000 um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 12"
Model SGI Fuel
SECS / GEM Communication interface:
Automated image archiving function / Online setup
Measurement function: Contact hole
Line edge analysis / CH Analysis / Slope
Measurement algorithm normal / Foot / Threshold
Wafer stage:
Wafer stage Anorad XY and Z Stage
Moving speed: 300 mm/sec
Function target faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability notch / Orientation flat
Pre-alignment sensing by CCD BAR (200/300 mm wafer)
External power distribution unit
Fun filter unit.
LES MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Le VRSEM est un microscope électronique à balayage (SEM) qui offre des capacités d'imagerie supérieures et un contrôle de précision pour l'analyse avancée des défaillances et le développement des procédés dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet équipement polyvalent offre aux utilisateurs une gamme complète de capacités avancées, de l'imagerie haute résolution à l'analyse spectroscopique, tout en fournissant une plate-forme stable et fiable pour des résultats d'imagerie cohérents et précis. Le système d'imagerie à pression variable AMAT VersSEM offre à la fois des capacités d'imagerie à très haut vide et à bas vide. Son mode basse dépression permet l'imagerie de surface et l'analyse sur une large gamme de pressions allant de 0,1 à 50 torr, y compris l'imagerie à pleine portée sous un gaz inerte pour éviter la charge des échantillons. L'unité dispose également d'une technologie de commande rapide de la vanne à vide, assurant une purge et un conditionnement rapides et fiables de la chambre d'échantillon. Cette technologie de vide combinée à un contrôle précis du mode et des conditions d'imagerie permet à l'utilisateur d'obtenir des résultats d'imagerie cohérents et précis pour des échantillons difficiles à représenter. En plus de ses capacités d'imagerie avancées, APPLIED MATERIALS Versem offre également des capacités de spectroscopie avancées. Son efficacité, la manipulation automatisée des échantillons et le rendement élevé des électrons secondaires combinent avec une large gamme d'outils d'analyse spectroscopique pour une résolution et un contraste supérieurs dans les composants individuels et dans les petites tailles de fonctionnalités pour l'imagerie à l'échelle nanométrique. Le système VersantéSEM prend en charge une variété de techniques analytiques telles que l'EDX, le WDX, la spectroscopie SEI et l'analyse CL. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS VercentreSEM est livré avec un module de contrôle intégré d'analyse ponctuelle qui fournit une manipulation et un positionnement rapides et automatisés des échantillons, ainsi qu'une stabilité éprouvée pour améliorer considérablement les rapports signal à bruit pour les échantillons difficiles. La machine d'analyse d'image intégrée (IAS) dispose d'une puissante capacité de contrôle et de mesure du contraste, ainsi que d'imagerie haute résolution et de faible bruit, et offre une imagerie de finesse inégalée d'échantillons autrement difficiles. AMAT VercentreSEM est conçu pour permettre un retournement rapide des résultats d'analyse, et ses fonctionnalités avancées telles que le positionnement automatisé des spécimens, l'analyse intégrée par points, l'analyse d'image très détaillée et la validation automatisée des normes garantissent des résultats fiables et rapides à partir d'une grande variété d'échantillons. C'est un outil fiable pour l'analyse avancée des défaillances et le développement de processus dans l'industrie des semi-conducteurs et offre un ensemble unique de caractéristiques puissantes à un prix extrêmement compétitif.
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