Occasion FEI Altura 835 #9350300 à vendre en France
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ID: 9350300
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1998
Dual beam Focused Ion Beam (FIB) system, 8"
SEM:
S-FEG Column capable of normal FEG or SIRION FEG
Image resolution: ~3 nm
Voltage: 500 V to 30 kV
Modes:
Search mode
Ultra High Resolution (UHR) mode
Ion column:
Magnum ion column: 1pA and up to 20nA beam at 30 kV
Resolution: <7 nm at 30 kV, 1pA, 16.5 mm WD
Stage:
Automated loadlock stage, 8"
Travel: X, Y, Z, R
Tilt: - 6° to 52°
Wafer chips, 4"
Accuracy: ≤1.5 um
CDEM and TLD Detectors
(3) Gas injectors (GIS):
Platinum
Delineation etcher
IEE (XENON Diflouride etch XeF₂)
1998 vintage.
FEI Altura 835 est un microscope électronique à balayage capable de fournir une imagerie haute résolution pour une grande variété de matériaux et d'applications. Le microscope dispose d'un étage entièrement motorisé pour le positionnement des échantillons sans effort et fournit d'excellentes images en mode lumineux et sombre. Cela permet une inspection facile des échantillons sous divers angles et agrandissements. Altura 835 est équipé d'un contrôle automatique du faisceau d'électrons pour maximiser le nombre d'éléments de résolution et assurer une imagerie rapide et cohérente des échantillons. Sa technologie SECtec est une plate-forme d'imagerie avancée qui offre une résolution d'image et un contraste supérieurs pour un large éventail d'applications. En plus de ses capacités d'imagerie avancées, FEI Altura 835 est également capable de capturer des images 3D. Ceci se fait par l'intermédiaire d'un détecteur de faisceau d'électrons rétrodiffusé à grande vitesse qui fournit une tomographie pour une vue tridimensionnelle de l'échantillon. De plus, le microscope dispose d'outils d'analyse de bord avancés qui peuvent être utilisés pour mesurer des structures 2D et 3D sur un échantillon et acquérir une meilleure compréhension des caractéristiques du matériau. Enfin, l'Altura 835 est équipée d'une variété de composants de support utiles. Il s'agit notamment d'un puissant détecteur de dérive de silicium (SDD) pour l'imagerie spectrométrique énergétique, d'un module logiciel programmable qui permet à l'utilisateur de stocker des images et des réglages, et d'une chambre Torr remplie de gaz pour faire fonctionner le microscope électronique à balayage dans des environnements à vide ultra-élevé. Dans l'ensemble, FEI Altura 835 est un microscope électronique à balayage polyvalent et puissant avec des capacités d'imagerie avancées. Il offre une excellente résolution d'image en mode lumineux et sombre, dispose d'un positionnement automatisé des échantillons et peut capturer des images tridimensionnelles à l'aide de sa plateforme SECtec. En outre, ses composants de support tels qu'un détecteur de dérive de silicium et un module logiciel programmable le rendent idéal pour un large éventail d'applications.
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