Occasion HITACHI RS-4000 #9036353 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9036353
Scanning electron microscope (SEM), 8"-12"
Includes:
Process evaluation: Litho, etch, CMP
Beam tilt: 10°
Laser darkfield microscope, EDX 15 kV
SEM:
Ip = <10pA ... 200pA
Darkfield OM:
Laser scatterlight (B/W)
Field of view (ca.): 620 um (220x)
Illumination level: Manually adjustable
For particles >1 um strong interference patterns appear
CCD Bad pixel calibration possible: No
Brightfield OM:
Field of view (ca.): 620 um (220x)
B/W only
Cassette interface:
(2) 12" Load-ports
8" Load ports: No
Robot handler (single end effector)
Status lamp (R/Y/G/B)
GEM/SECs
Sub-Fab (supporting) equipment:
Equipment rack (power box)
(2) BOC EDWARDS EPX-180LE Dry pumps
(1) Cryo tiger cryo compressor
EDX (Option), 15 kV:
Automatic defect re-detection
Automatic defect classification
Vacc: 500 V - 5 kV (auto.), resp. 15 kV (man.)
SEM Pixels: 512 or 1024
SEM Magnification minimum: 1000x (140 µm FOV)
SEM Magnification maximum: 200000x (0,7 µm FOV)
Detector SEM:
Left topography (BSE)
Right topography (BSE)
SE
VC
Image display SEM: Live and average mode
OM: DF + BF
OM Magnification:
220x (ca. 620µm)
440x (by digital zoom)
Tilt: 10° (beam tilt)
Stage rotation: No
Stage accuracy: +/- 1µm
Image resolution SEM: 3.0 nm (800 eV)
Auto EDX: Yes
Defect sensitivity
MTBF: 1000 Hrs
Downtime per month: 6 Hrs
Particle contamination
Front side: Maximum 7 adders >0.16µm
Back side:
Maximum: 3500 adders > 0.2µm
Maximum: 100 adders > 5.0 µm (incl. clusters)
Throughput:
10 Wafer / h (50 Defects)
900 Defects+ADC/h (1wafer)
Manual loading without defect file: Yes
FIB Vacc: No FIB
Milling accuracy
Milling frame size
Measurement requirements:
AST in current software: No
Lowest SEM magnification: 1000x
Maximum voltage for automatic ADR and EDS 5kV
15kV for manual EDS
Minimum voltage 500V
Image mixing: Ok
Manual loading without defect file: Ok
NORAN System: (6) EDS will be offered
Stage resolution: Ok
Beam tilt: 10°
Image resolution at 800eV: 3.0nm
230 VAC (6kVA), Single phase, 50 Hz
CE Marked
Currently stored in clean room
2005 vintage.
HITACHI RS-4000 est un microscope électronique à balayage (SEM) qui utilise un faisceau d'électrons focalisés pour créer des images pour visualiser et analyser une variété de matériaux. Il utilise une technologie avancée de filtrage de l'énergie pour un contraste optimal de la composition topographique et chimique de l'échantillon. De plus, il utilise les rayons X dispersifs (SBEDX) pour mesurer la composition élémentaire de l'échantillon. Le microscope présente un mode d'imagerie multi-spectrale qui a la capacité d'acquérir quatre images différentes en même temps dans des longueurs d'onde différentes, permettant la visualisation complète des propriétés physiques, chimiques et structurelles d'un échantillon. HITACHI RS 4000 offre une imagerie ultra haute résolution avec sa large gamme de grossissements d'objectifs - jusqu'à 500x. Les fonctions d'auto-stigmatisation intégrées permettent un réglage facile du faisceau d'électrons tout en éliminant le besoin de réglages manuels. Il dispose également d'un équipement de télécommande intégré, permettant la surveillance à distance et le fonctionnement du système. En plus de l'imagerie haute résolution, RS-4000 offre une large gamme de capacités analytiques. Il peut être utilisé pour mesurer la topographie de surface, les épaisseurs de couches et les paramètres d'échantillons 3D sur de grandes surfaces. Il a également la capacité de caractériser les revêtements d'échantillons, tels que les films, les verres et les métaux, en utilisant la fluorescence X, la spectroscopie à rayons X dispersive d'énergie (EDS) et la diffraction par rétrodiffusion électronique (EBSD). La RS 4000 est suffisamment polyvalente pour être utilisée dans toute une gamme d'applications, y compris la caractérisation des matériaux, la recherche métallurgique, la microélectronique, la recherche médicale et les enquêtes médico-légales. Il possède plusieurs caractéristiques avancées, notamment des détecteurs pour l'imagerie par électrons secondaires à haute résolution (SE), l'imagerie par quasi-rétrodiffusion (QB) et un détecteur d'électrons rétrodiffusés (BE) à ultra-haute résolution et à grand champ de vision, qui permettent l'acquisition d'informations topographiques et chimiques en un seul balayage. HITACHI RS-4000 est conçu pour une utilisation facile, et son architecture ouverte permet une intégration rapide dans les processus automatisés. L'unité est conviviale, avec un logiciel intuitif pour mettre en place des expériences, contrôler le fonctionnement des scans et examiner les données. En outre, la machine offre une grande variété de services de support, de la maintenance et de la formation au développement de logiciels. La conception conviviale et les fonctionnalités avancées font de HITACHI RS 4000 un choix idéal pour les laboratoires et centres de recherche qui nécessitent des capacités SEM avec fiabilité et flexibilité.
Il n'y a pas encore de critiques