Occasion HITACHI S-7800H #9120137 à vendre en France
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ID: 9120137
CD SEM inspection system, 8"
Manual wafer loading
Resolution: 5nm at 1kv
Reproducible Precision of Measurement: Static 3 Sigma 0.010um
Reproducible Precision of Positioning: X & Y Stage within +/- 15um
Precision of the Stage Rotation: X & Y within +/- 60um
Pre-alignment of Stage: X & Y +/- 15um
Throughput: 5 Wafers/Hour
Oxford INCAx-Sight EDX
Stage Movable Range:
X: 0 ~ 200mm
Y: 0 ~ 200mm
Z: 4 ~ 12mm
R: 0 ~ 360° T: 0 ~ 60°
Vacuum Pumps
Chiller
Transformer
Operations Manual and Documentation.
HITACHI S-7800H est un microscope électronique à haute résolution à balayage (SEM), capable d'exécuter une grande variété de techniques d'imagerie. Il dispose d'une grande chambre de spécimen, permettant l'observation et l'analyse de plus grands échantillons. Son système électronique est livré avec une unité de traitement d'image intégrée pour la manipulation automatique de données qui peuvent être sortis comme un signal numérique. HITACHI S-7800 H a une large gamme d'applications, de l'imagerie à l'analyse élémentaire lorsqu'il est utilisé en tandem avec un étage de spectroscopie X dispersive d'énergie (EDS). Le microscope comporte trois systèmes de canon à électrons : un canon à émission de champ froid (GFC), un canon à émission de champ (GEP) et un canon à émission de champ thermionique (GFT). Le CFEG a une haute luminosité et une faible tension d'accélération donnant une image haute résolution. La FEG a un pouvoir de résolution plus faible. Le canon à émission thermionique offre une imagerie haute résolution à haute tension d'accélération, avec une gamme de 0.7-30kV. S-7800H est un SEM à pression variable, capable de fonctionner entre 1 et 600 Pa. Cela permet l'observation et l'analyse d'une variété de types d'échantillons tels que les matériaux organiques, céramiques et matériaux conducteurs, permettant une variété de techniques d'imagerie. Le microscope supporte un éclairage simultané avec des primaires (SE (électrons secondaires), BE (électrons rétrodiffusés) et CL (cathodoluminescence)) et un secondaire (ESB (électrons rétrodiffusés)), permettant une analyse et une imagerie multicouches. L'outil fournit également une large gamme d'opérations automatisées, y compris l'imagerie séquentielle, l'amélioration du contraste et la fusion numérique. S-7800 H dispose d'un étage motorisé qui supporte les mouvements X, Y, Z, la mise au point réglable et l'inclinaison, permettant l'imagerie séquentielle automatisée. L'étage a une grande surface d'échantillonnage précise, capable de se déplacer dans les axes X et Y jusqu'à 75 mm chacun. En termes de fonctionnalités du système, HITACHI S-7800H dispose d'une interface LCD à écran tactile conviviale, permettant aux utilisateurs d'entrer des variables de texte, ainsi que de fournir une lecture visuelle. Le microscope est également livré avec une unité de traitement de données, permettant aux utilisateurs de manipuler les données d'image directement, ainsi que de sortir les données sous forme de signal numérique. Dans l'ensemble, HITACHI S-7800 H est un SEM incroyablement polyvalent, capable d'un large éventail de techniques d'imagerie et d'opérations automatisées. Il est doté d'une imagerie haute résolution, capable de varier les pressions et l'imagerie automatisée. De plus, l'interface conviviale permet une utilisation et une navigation particulièrement aisées. Toutes ces caractéristiques combinées donnent S-7800H un avantage sur les produits concurrents.
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