Occasion HITACHI S-8820 #9172598 à vendre en France
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Vendu
ID: 9172598
CD Scanning electron microscope (SEM), 8"
Mainframe
Open cassette
Electron gun: Schottky emission source
CD Measuring size: 200-250 nm, consistently
Accelerating voltage: 700 V-1300 V, 10 V Steps
Probe current:
1-16 pA With automated setting and measured by faraday cup
1-8 pA at 800V or 1-16 pA (With optional retarding voltage)
1-10 pA at 1000 V
1-13 pA at 1300 V
(3) Stage electromagnetic lens system
Objective lens: (4) Opening click stop
Heated aperture
Adjustable outside the vacuum system
(2) Stage deflection scan coils
Astigmatism correction via an 8-pole electromagnetic coil
Magnification: 1000x - 150000x
Field control method: Continuously on for sample decharging at all volts
Wafer imaging ability: 8” Entire surface
Depth of focus: Magnification ≥ 1.0 mm at 80000x
Resolution:
< 8 nm at 700 V-1000 V or < 6 nm (With optional retarding voltage)
< 6 nm at 1000 V-1300 V
HITACHI Probe tip
Optical microscope system:
Monochrome image
CCD Camera
Magnification: 110x
Wafer imaging X and Y coverage from 5 – 195 mm
Notch down
Workstation HP 715 / 64
User interface software version: 9.25A
Error tracking software
SECS Communication and GEM interface
Multipoint measurement function
Edge roughness function
Contact hole measurement function
Automated image archiving function
Cassette flipper:
(2) Flippers per load port
(3) Ion pumps
AV-1
Movable aperture plate assembly
Stage and evac panels
Stage: X & Y Step motors and drive are intact
Vacuum systems:
TMP1
TMP2
Valves are intact
Wafer loading robot type: MECS OF250
Robot controller: MECS UTC 100A
With NAKAV2 (OFV1.7)
Pre-aligner type: MECS UTC820Z
Pre-aligner controller type:
MECS OF250
With OF2BCV1.7 (UTCV2.3)
MITUTOYO PSU Model PSU11-2
Loadlock turbopump controller: LEYBOLD NT10
Chamber turobpump type: LEYBOLD Turbovac 340
Chamber turbopump controller type: LEYBOLD NT340M
Microscope illuminator type: HOYA-SCHOTT Cold-light HL50E-HI / 50w 12V 5A
HITACHI SE Cathode
SONY CCD Video camera module
MATSUSADA Precision laser PSU type HVL-10P-HS
Missing parts:
Stage ROM PCB (Wafer transfer unit stage controller)
Ion pumps batteries unit: Internal parts
Operator interface parts included:
Software disks:
PANASONIC Magneto-optical disk
128 MB
S-8640/8840 CD Measurement SEM system
CD Measurement SEM user data
Backup SW version 15-10
Number of hours on gun PSU: 51191.7
Workstation type:
HEWLETT-PACKARD PA-RISC Powered 715/64
VME Rack boards:
EBS 100 Stage controller PCB
EPS 100 WT Controller PCB
EPS 100 EVAC Controller PCB
EPS 100 HV Controller PCB
ECPU 261 PCB
COGNEX Vision system:
4400 PCB
IMEM PCB
SIP PCB
PSDISP PCB
SG / VA PCB
EOCONT PCB
OMAFC PCB
Power supply boards:
NAGANO japan radio Co. NUPS-500 HRM NJD-4018
NAGANO japan radio Co. NUPS-500H HRM NJD-275
Ion pump power supply interface PCB
Auto transformer unit
Currently de-installed and warehoused
1996 vintage.
HITACHI S-8820 est un microscope électronique à balayage (SEM) avec une grande variété de caractéristiques qui permettent à la fois l'observation d'échantillons à fort grossissement, ainsi que la quantification automatisée de la détection d'échantillons. Ce microscope est bien adapté à l'imagerie de divers échantillons biologiques et chimiques, allant des cellules biologiques aux échantillons minéraux. HITACHI S 8820 comprend une grande chambre qui offre un grand espace de travail, permettant de placer facilement des échantillons sur une étape d'échantillonnage automatisée. Cette étape permet de déplacer l'échantillon pendant l'observation, ce qui permet une observation dynamique des caractéristiques de l'échantillon. Pour l'imagerie, S-8820 utilise une source d'émission de champ cathodique froid. Cette source émet un faisceau focalisé d'électrons à haute énergie, ce qui permet une imagerie détaillée et à haute résolution des échantillons. Pour l'analyse automatisée d'images, le S 8820 est équipé de capacités de numérisation, de grossissement et de quantification d'images. HITACHI S-8820 a une vitesse de balayage variable, la taille des particules et les paramètres de détection de fond pour chaque échantillon, permettant une analyse sur mesure des échantillons. HITACHI S 8820 comprend également des paramètres d'orientation des échantillons automatisés et manuels, permettant un contrôle complet du processus d'imagerie des échantillons. En plus des échantillons d'imagerie, S-8820 est équipé d'un large éventail de capacités de mesure. Le microscope est équipé à la fois d'un étage linéaire et d'un étage rotatif pour le mouvement des échantillons multi-axes, ce qui permet de mesurer les particules et les caractéristiques en trois dimensions. S 8820 dispose également d'une large gamme d'options de détecteurs, offrant la possibilité de mesurer divers paramètres, y compris l'épaisseur, la distribution et les spectres d'énergie. HITACHI S-8820 est un puissant microscope électronique à balayage qui fournit un large éventail de capacités, à la fois dans l'imagerie d'échantillons et la réalisation de mesures et de quantification. Le faisceau étanche focalisé par sa source de cathode froide permet la résolution de structures minuscules, tandis que l'étage d'échantillonnage automatisé et la gamme de fonctions de mesure permettent une analyse complète des échantillons - rendant HITACHI S 8820 bien adapté à l'imagerie d'une gamme de types d'échantillons.
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