Occasion HITACHI S-8840 #139927 à vendre en France
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ID: 139927
Taille de la plaquette: 3"-8"
CD SEM, 8"
Upgraded to 3" to 8" wafer capability
CD measuring size: 130-160nm, consistently
Version 11.7 S/W or newer
SECS/GEM Communication Interface
Additional hard disk drive (>1GB)
VRT board w/ 8 mb of memory
DSP compatible conductive wafer holder
Hitachi Hi Tech Electron Gun
Accelerating voltage, 500V to 1300V, 10V steps
Probe current, 1-16pA at 800V, 1-10pA at 1000V, 1-13pA at 1300V
3 Stage Electromagnetic Lens System
Objective Lens: 4 opening click stop, heated aperture is selectable/adjustable outside the vacuum system
2-Stage Deflection Scan Coil
Astigmatism correction via an 8-pole electromagnetic coil
Magnification = 1000x to >150000x
Field control method ; Continuously on for sample decharging, at all voltages
Wafer imaging ability; Entire surface of 8"" wafer
Depth of focus: >= 1.0mm at 80000x magnification
Resolution: < 8nm at 700V - 1000V (or < 6nm with optional retarding voltage), < 6nm at 1000V - 1300V
Retarding voltage: Optional at <= 800V for improved resolution
Hitachi Probe Tip
Optical Microscope System: Image is Monochrome, using CCD camera, Magnification is 110x, Wafer imaging X & Y coverage from 5-195mm , notch down
Dual XY Hitachi Microscale
Workstation, HP B180L
Error Tracking Software
Multipoint Measurement Function
Edge Roughness Function
Contact Hole Measurement Function
Automated Image Archiving Function
Ergonomic Cassette Flipper Option (2 flippers - one per load port)
Operations Manual and Documentation.
HITACHI S-8840 microscope électronique à balayage (SEM) est l'un des microscopes électroniques à balayage les plus avancés disponibles sur le marché et est souvent utilisé pour la caractérisation des matériaux et la recherche. C'est un SEM moderne et haut de gamme qui peut fournir des images détaillées et des données sur la surface d'une grande variété de matériaux, y compris les semi-conducteurs et la céramique. HITACHI S8840 SEM a une variété de fonctionnalités qui le distingue des autres SEM sur le marché. Le microscope est équipé d'un système d'imagerie haute résolution qui fournit une résolution maximale de 0.50nm et dispose de la technologie de traitement numérique du signal (DSP). L'opération d'imagerie est automatisée, permettant à l'utilisateur d'acquérir des images de haute qualité sans avoir à ajuster manuellement les réglages. De plus, le SEM présente une spectroscopie à rayons X dispersifs d'énergie (EDX) qui sert à identifier la composition chimique des échantillons analysés et à détecter la cartographie des éléments. S 8840 est équipé d'une puissante source d'électrons qui lui permet d'avoir des performances supérieures dans un large éventail d'applications. Il supporte également des techniques analytiques avancées telles que la reconstruction 3D et l'imagerie en profondeur. Le microscope dispose également d'un contrôle avancé de l'opérateur et de fonctions conviviales, ainsi que d'une gamme complète d'options d'automatisation. De plus, le microscope est équipé d'un chargeur automatisé d'échantillons de sorte que l'utilisateur n'a pas à préparer manuellement chaque échantillon pour analyse. La haute qualité des images fournies par S8840 permet à l'utilisateur d'observer les caractéristiques les plus détaillées d'un échantillon, et elle convient à un large éventail d'applications. Par exemple, le microscope peut être utilisé pour étudier des matériaux et des nanostructures à un niveau microscopique précis, permettant à l'utilisateur d'étudier la structure atomique d'un échantillon ainsi que ses surfaces et sa composition. En outre, la machine dispose également de plusieurs modes d'imagerie, dont la microscopie électronique à transmission par balayage (STEM), la chambre d'échantillonnage environnementale, l'imagerie par balayage, le balayage par inclinaison et le balayage par grossissement variable. Dans l'ensemble, S-8840 microscope électronique à balayage est un choix idéal pour ceux qui recherchent un SEM haut de gamme qui offre des fonctionnalités supérieures et des capacités d'imagerie supérieures. Avec ses caractéristiques avancées et sa puissante source d'électrons, le microscope peut fournir des images précises et détaillées rapidement et facilement. En outre, ses options d'automatisation et l'accès à une variété de modes d'analyse en font un excellent choix pour un large éventail de recherches et d'études.
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