Occasion HITACHI S-8840 #9214004 à vendre en France
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Vendu
ID: 9214004
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 1997
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 6"-8"
Workstation:
Model: B180L
Operating system: HP Unix
SEMI / JEIDA: Flat / V Notch wafers
Measurement method: Curser / Line profile
Measurement range: 0.1 ~ 11 µ m
Measurement repeatability: ±1% / 2 nm (3s)
Throughput: 26 Wafers / Hour
Secondary electron image resolution: 5 nm
Image magnification: 1,000x ~ 150,000x
Measurement points:
1 Point / Chip
(5) Chips / Wafer
Electron optics system:
Electron gun: Schottky emission type
Accelerating voltage: 500 to 1300 V
Lens system: Electromagnetic condenser lens system and FCM objective lens
Secondary electron detection method: 2-Stage electromagnetic deflection
Objective lens aperture: Heating type movable aperture with fine adjustment
Scanning method: 2-Stage electromagnetic method
Astigmatism correction method: 8 Polar electromagnetic method (X and Y axis)
Monitor: Faraday cup incorporated with automatic measurement function
Optical microscope: 1.2 mm² Visual field, monochrome image
Stage:
Movement range:
X and Y: 0 ~ 200 mm
Driving method: Pulse motor
Computer controlled operation
Speed: Maximum 51 mm/s
Wafer transfer robot method:
(2) Cassettes random access method
Wafer detection inside cassette: Arm type robot
Vacuum chucking method
Orientation flat / V Notch detection: Non-contact automatic detection method
Control and display system:
Observation control CRT:
EWS (GUI) LCD Monitor
Integral processing image display
Interactive computer operation
Wafer map display
Measured value indication
Stage coordinate indication
Scan mode:
TV Scan
Raster rotation
Auto brightness / Contrast control
Image processing:
Photographic recording unit
Effective visual field 80 x 80 mm
Safety device: Mushroom type EMO switch
Measurement data processing system:
File storing function:
3.5" Floppy disk drive
3.5" Magneto optic disk drive
With storage
Recording media:
Hard disk with EWS
3.5" Magnetic optical disk
3.5" Floppy disk
Print output: 80 Digit thermal printer
Evacuation system:
Method: Automatic dry cleaning evacuation system
Vacuum pumps:
(3) Ion pumps
(2) Turbo molecular pumps
(2) Oil rotary pumps
Safety devices:
Power fail / Vacuum level safety devices
1997 vintage.
HITACHI S-8840 est un microscope électronique à balayage (SEM) conçu pour des applications sophistiquées à haute résolution. HITACHI S8840 permet d'étudier la nanostructure des matériaux et des dispositifs dans la gamme micron-submicron. Les faisceaux d'électrons haute puissance et basse tension sont capables de produire des images détaillées de conducteurs, isolants et semi-conducteurs avec une résolution de 40nm et une plage de grossissement de 20x à 500.000x. S 8840 est équipé d'une technologie de pointe qui permet une imagerie et une analyse de haute qualité. Le microscope utilise des faisceaux d'électrons non destructifs à faible enthalpie et des systèmes avancés de traitement du signal, ce qui réduit considérablement la distorsion de l'image. Le puissant processeur de signal fournit des rapports signal à bruit clairs tout en fournissant une sortie de signal précise et des images 3D détaillées. S8840 offre également un choix de détecteurs de sonde comprenant une caméra CCD pour obtenir des images vidéo de haute qualité et un détecteur d'émission de champ ultra-sensible. Le détecteur à faible courant fournit une dynamique allant jusqu'à plus de 1 millions d'électrons par seconde, permettant à l'utilisateur de détecter des changements subtils dans les conditions du faisceau d'électrons. Le microscope est également équipé d'une chambre à vide qui est capable de maintenir un vide de 10⁻⁶bar, adapté à la fois aux applications de la science des matériaux et des semi-conducteurs. HITACHI S 8840 dispose d'une interface graphique conviviale et d'un ensemble complet d'outils logiciels, ainsi que d'une gamme d'options et d'accessoires, le rendant adapté à une variété d'applications exigeantes. Le microscope supporte la spectroscopie à rayons X dispersive d'énergie (EDS) et l'imagerie filtrée d'énergie (EFI) pour l'analyse élémentaire et l'étude de la composition élémentaire des matériaux. Le SEM peut également être utilisé pour observer les structures cristallines et la texture des matériaux, permettant une meilleure caractérisation de la structure et des propriétés des microdispositions. En outre, S-8840 offre un système de luminescence induite par faisceau laser (LBIC) qui permet l'inspection visuelle, l'amélioration du contraste et l'analyse automatique des échantillons. Le SEM est également équipé d'un système de gravure plasma de haute précision pour la préparation de l'échantillon, d'une entrée de gaz pour le chauffage de l'échantillon et d'un bras support pour faciliter la manipulation et le positionnement de l'échantillon. HITACHI S-8840 est un microscope électronique à balayage avancé capable de fournir des images à haute résolution et une analyse de données précieuses. C'est un instrument fiable et performant adapté à un large éventail de buts de recherche.
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