Occasion HITACHI S-9220 #293676208 à vendre en France
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ID: 293676208
Style Vintage: 2009
Scanning Electron Microscope (SEM), 8"
Standard layout
Cursor and line profile method
Measuring range: 0.1μm ～2.0μm
Length measurement: ± 1% or 3nm
Continuous measurement: 56 wafers / hour
Secondary electron image resolution: 3nm
Image magnification: SEM image: 1000 x 300,000
Optical microscope image: 110 times
Automatic measurement and manual measurement
Stage:
Movement range: X and Y: 0-200mm
Stage drive: Pulse motor
X, Y axis drive speed: 100 mm/s
Loader system:
Cassette to loader chamber
Loader chamber to stage
Wafer transfer robot
(2) Cassettes
Wafer detection in cassette
Vacuum chucking method
Orientation flat with notch detection
Electron optics
Accelerating voltage: 500 to 1600V
Electromagnetic lens and booster stock lens
Scintillator and photomultiplier detector using EXB filter
SE and BSE Stage methods
Objective lens diaphragam: Heating thin film movable pattern
2-Stage electromagnetic type (X, Y axes)
Astigmatism: 8-Pole electromagnetic system (X, Y)
Faraday cup incorporated with auto measurement
Optical microscope: 1.2 mm square visual field with black and white CCD camera
Control and display system:
Viewing control CRT: EWS 21-inch
Scanning modes: TV scan, auto brightness and contrast function
Image process: Software processing using filtering
Safety device: Equipped with emergency off switch
Length measurement data processing system:
Storage media: 9G byte hard disk, 3.5 magneto-optic disk, 3.5 floppy disk
Data process function: statistics scanning using worksheet system
Printout: 80-character thermal printer
Vacuum exhaust system:
(3) Ion pumps
(2) Turbo molecular pumps
(2) Dry pumps
Safety functions:
Power outage
AIR pressure drop
Cooling water flow drop
Dynamic valve closing function
Pump stop function
2009 vintage.
HITACHI S-9220 est un microscope électronique à balayage (SEM) utilisé pour l'imagerie de haute précision et l'analyse. L'imagerie CTEM (Creative Transmission Electron Microscopy) peut être appliquée pour observer la microstructure d'échantillons en trois dimensions afin d'obtenir des informations détaillées. De plus, un détecteur de spectrométrie à rayons X dispersifs d'énergie (EDX) pour l'analyse d'éléments de l'échantillon en coupe transversale et un détecteur WDS (spectromètre à rayons X dispersifs de longueur d'onde) pour l'analyse de composition de l'échantillon sont également disponibles. L'agrandissement le plus élevé du système atteint 500.000x. Un tel grossissement élevé permet d'observer des matériaux à l'échelle atomique/nanométrique. L'observation d'un large éventail d'échantillons comprenant des métaux, des céramiques, des polymères, des semi-conducteurs, des dispositifs, des biomatériaux, etc. est rendue possible par la grande chambre à vide dont la taille maximale de l'échantillon est de 200 mm. L'étage 4 axes est capable d'une vitesse maximale de 0-4 °/sec. L'incorporation par le système d'un capteur de focalisation automatique assure une focalisation précise sur différentes épaisseurs de spécimens. La fucntion ultralow assure une faible charge des échantillons avec des températures extrêmement basses, ce qui est bénéfique pour l'observation des matières organiques. Le système de caméra CCD haute résolution capture des images claires et vidéo du spécimen. La couleur reproduite à partir de l'image est naturelle, ce qui facilite l'évaluation quantitative et l'analyse précise. Le logiciel contrôle la tension ainsi que les coordonnées du faisceau d'électrons. Il peut être utilisé pour la reconstruction tomographique, il augmente le contraste, et plus encore. La tension du faisceau HITACHI S9220 varie de 1,9 à 20 kV. Il est équipé d'un détecteur à fort gain pour une détection très sensible du nombre de radiations des électrons à rayons X et à diffusion élastique, ainsi que de l'imagerie électronique rétrodiffusée. En bref, S 9220 est un microscope électronique à balayage avancé et de haute précision. Il offre de vastes capacités d'observation avec une extrême précision, permettant une évaluation quantitative et une analyse précise des échantillons aux niveaux atomique et nanométrique. C'est un outil puissant pour une variété de recherches et d'applications.
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