Occasion KLA / TENCOR 8100XP #9225706 à vendre en France
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ID: 9225706
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8"
Load ports: ASYST-3LP
Standard chuck
Etch module
Copper process
CE Marked
1996 vintage.
KLA/TENCOR 8100XP est un microscope électronique à balayage à dimension critique (CD) conçu pour les applications de métrologie les plus exigeantes dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est équipé de la résolution leader de l'industrie de mesure de CD et de qualité d'image supérieure. KLA 8100XP offre une gamme de fonctionnalités et de capacités qui en font l'un des principaux instruments d'imagerie haute résolution. TENCOR 8100 XP est équipé d'un détecteur d'électrons secondaire Everhart-Thornley haute résolution, permettant aux utilisateurs de capturer les images les plus détaillées des caractéristiques à petite échelle avec un contraste et une netteté élevés. Le SEM dispose d'un système de déflecteur motorisé Hamilton haute performance et d'une sonde de navigation avancée, qui permettent l'emplacement précis du faisceau pour assurer des échantillons sans défaut. L'instrument offre des algorithmes de reconnaissance de motifs basés sur le matériel, permettant l'annotation rapide et précise des fonctionnalités sur les échantillons scannés. KLA 8100 XP dispose également du simulateur de particules « Monte Carlo ». Cette technologie unique peut simuler et prédire comment le faisceau est dévié, dispersé et absorbé par des caractéristiques à petite échelle sur un échantillon. Cela permet aux utilisateurs d'optimiser les paramètres pour améliorer la qualité d'image. Le SEM offre également un certain nombre d'autres capacités pour améliorer l'efficacité du flux de travail et la précision des échantillons. La fonction « SmartSmart Point » permet aux utilisateurs de mesurer rapidement et avec précision les petites fonctionnalités sans avoir besoin d'un étalonnage complexe. Il dispose également d'une fonctionnalité de « comptage ponctuel » qui permet de mesurer facilement les défauts de petite taille des particules, et d'une capacité de « report » qui permet l'analyse de différents modèles sur le même échantillon. KLA/TENCOR 8100 XP est convivial, facile à entretenir et hautement automatisé, ce qui le rend idéal pour l'environnement de métrologie des semi-conducteurs extrêmement exigeant. Il offre une fiabilité inégalée qui le maintient en marche même dans les conditions les plus défavorables. 8100 XP est un outil fiable et puissant pour toute application de métrologie des semi-conducteurs.
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