Occasion LEICA MICROSYSTEMS EBPG 5000 Plus #9228860 à vendre en France
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Vendu
ID: 9228860
Electron beam lithography system
Beam generation:
Cathode: Thermal field emitter (TFE)
Schottky emitter (SE)
Beam deflection:
Method: Spot beam recorder, vector scan
Large field: 1,000 x 1,000 lbs gm2
Addressing: 20 bits main field, 14 bits sub field
Minimum address increm: 1 nm
Maximum frequency: 50 MHz
Automatic corrections
Stage:
Laser interferometer: 1024 (~0.6 nm)
Writing area: 150 x 150 mm^2
Substrate size: Up to 6"
Miscellaneous
Cassette: 10 Positions
Mechanical steaming system: Piezo active
Operating system: Linux Redhat 5
Pre-alignment microscope
Size / Thickness
3" Square / Mask / 60 mil / 2.5 mm
4" Square / Mask / 60 mil / 2.5 mm
5" Square / Mask / 90 mil / 2.5 mm
6" Square / Mask / 250 mil / 6.35 mm
3"-5" Square / Mask / 60 mil / 2.5 mm
2" Round / GaAs wafer / 300 µm – 500 µm / 1,0 mm
3" Round / GaAs wafer / 500 µm / 1.0 mm
36 m Square / GaAs wafer / 500 µm / 1.0 mm
4" Round / Si wafer / 500 µm / 2 mm
4" Round / GaAs wafer / 600 µm – 700 µm
6" Round / GaAs wafer / 600 µm – 700 µm
Power supply:
High voltage: 20, 50, 100 kV.
LEICA MICROSYSTEMS EBPG 5000 Plus microscope électronique à balayage est un instrument de pointe en microscopie moderne. Il est capable d'imagerie haute résolution et dispose d'une gamme de caractéristiques qui permettent une observation et une mesure précises. EBPG 5000 Plus utilise un faisceau d'électrons pour scanner et imiter un spécimen à l'étude et l'équipement d'optique électronique fournit une excellente clarté d'image, résolution et profondeur de mise au point. LEICA MICROSYSTEMS EBPG 5000 Plus comprend des logiciels sophistiqués qui fournissent des capacités de traitement d'image telles que le rendu de surface et les reconstructions 3D d'un spécimen. Ce logiciel avancé permet également de manipuler les propriétés de l'image telles que la luminosité, le contraste, le zoom et la résolution. Une analyse plus approfondie de l'image peut être réalisée au moyen d'outils logiciels incluant l'analyse des particules, la taille des particules et la mesure de l'épaisseur. L'EBPG 5000 Plus comprend également plusieurs composants matériels, dont un détecteur SE en colonne, un détecteur ESEM, un capteur ESEM/Q et un système de double canon. Le détecteur SE en colonne permet l'acquisition d'images avec un grossissement et une résolution élevés tandis que l'unité à deux canons permet l'imagerie simultanée de deux émissions d'électrons distinctes. Le détecteur ESEM détecte les électrons secondaires et est utilisé pour l'image des échantillons non conducteurs, comme la matière biologique, tandis que le capteur ESEM/Q améliore la résolution et le contraste pour les grandes surfaces. LEICA MICROSYSTEMS EBPG 5000 Plus dispose également d'une machine à vide pour fournir l'environnement de vide requis pour le fonctionnement du microscope électronique. L'outil a une tolérance pour les gaz, de sorte qu'il peut être utilisé pour étudier une variété d'échantillons, y compris des échantillons sensibles à l'atmosphère. L'actif de pompage sous vide assure également une vibration minimale de l'enceinte sous vide, permettant de prendre des images avec une haute résolution et un contraste brusque. Dans l'ensemble, le microscope électronique à balayage EBPG 5000 Plus est un outil puissant pour la microscopie, permettant aux chercheurs d'observer et de mesurer les matériaux avec une haute résolution, précision et vitesse. Ses différentes caractéristiques et composantes permettent une large gamme d'analyses et d'examens de spécimens, ce qui en fait un choix idéal pour les environnements de laboratoire et de recherche.
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