Occasion PHILIPS / FEI Quanta 3D FEG #293732731 à vendre en France
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ID: 293732731
Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope (FIB-SEM)
Electron beam resolution:
High vacuum:
1.2 nm at 30 kV (SE)
2.9 nm at 1 kV (SE)
Low vacuum:
1.5 nm at 30 kV (SE)
2.9 nm at 3 kV (SE)
Extended low-vacuum mode
1.5 nm at 30 kV (SE)
Ion beam resolution:
7 nm at 30 kV at beam coincident point
Detectors:
Everhardt-Thornley SED
Low vacuum SED
Gaseous SED (used in ESEM mode)
IR-CCD
Chambers:
379 mm left to right
21 ports
10 mm E- and I-beam coincidence point
Angle between electron and ion columns: 52°
High-vacuum: < 6e-4 Pa
Low-vacuum: 10 to 130 Pa
ESEM-vacuum: 10 to 4000 Pa
5-Axis motorized stage:
Eucentric goniometer stage
Z = 25 mm
X = 50 mm
Y = 50 mm
Maximum sample height = 50 mm
T=-15° to +75°
R = n x 360°
Minimum step: 300 nm
Repeatability at 0° tilt; 2 μm
Repeatability at 52° tilt; 4 μm
Gas chemistry:
Tungsten metal deposition
Gold deposition
Insulator deposition (SiO2)
Enhanced metal etch
Insulator enhanced etch (XeF2)
Delineation etch
Carbon deposition
System control:
32-Bit graphical user interface
Keyboard
Optical mouse
Operating system: Windows XP
LCD Display, 19"
PC
Multi-functional control panel.
PHILIPS/FEI Quanta 3D FEG est un microscope électronique à balayage à émission de champ (FE-SEM) qui permet l'imagerie ultra haute résolution des matériaux dans tous les domaines. Cet instrument polyvalent combine la technologie de pointe des canons à émission de champ (FEG) de FEI avec l'électronique de balayage robuste de PHILIPS pour fournir une plate-forme d'imagerie puissante pour l'imagerie et l'analyse à l'échelle nanométrique. FEI Quanta 3D FEG est un équipement compact qui dispose de l'imagerie haute résolution à une résolution allant jusqu'à 1 nanomètre. Avec un large champ de vision pouvant atteindre 50 millimètres, ce système est capable de capturer de grandes zones d'un échantillon en détail avec un seul balayage. L'instrument est conçu pour acquérir facilement des images des structures tridimensionnelles les plus complexes. L'instrument dispose d'un étage de spécimen automatisé qui peut se déplacer jusqu'à 150 mm dans les axes x, y et z, ce qui facilite l'imagerie de grand champ de vision. L'unité est également équipée d'une commande électronique-colonne avancée, ce qui facilite l'optimisation automatisée des conditions optimales d'imagerie pour des matériaux très différents. Cela permet aux utilisateurs de routine d'obtenir facilement des résultats de haute qualité. La Quanta 3D dispose également d'une machine de manutention automatisée polyvalente. Cette technologie de pointe peut modifier le placement des échantillons pour différents types d'imagerie tels que les électrons secondaires basse tension, les électrons secondaires forts dans les lentilles et l'imagerie électronique rétrodiffusée. Le Quanta 3D peut également effectuer une analyse élémentaire avancée (EDX et EBSD) et une analyse de faisceau d'ions (IBM et ISS) pour acquérir des informations de composition et des détails de sous-microns. En plus de ses nombreuses fonctionnalités, le Quanta 3D comprend également divers logiciels qui permettent une analyse et une manipulation avancées des données. Le logiciel permet aux utilisateurs d'accéder aux reconstructions 3D, au profilage de surface et au traitement d'image numérique. Ces caractéristiques font de Quanta 3D un instrument idéal pour l'imagerie et la caractérisation d'un large éventail de matériaux.
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