Occasion PHILIPS / FEI XL 860 #189226 à vendre en France
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ID: 189226
Dual ion beam system
Electron beam: 3nm 1-30kV beam voltage
Ion beam: 7nm in second electron mode, 30kV beam voltage
Full digital control: Microsoft Win NT
Chamber: Can handle both wafers and small samples
Stage accuracy: 1.5um over 8" wafers
FE-SEM with in-lens detection
(2) GIS installed
Oxford EDS
Edward QDP dry pump.
PHILIPS/FEI XL 860 est un microscope électronique à balayage (SEM) à haute résolution conçu pour l'imagerie et l'analyse. Il est équipé d'une version personnalisée de l'Universal Imaging Platform (UIP) qui offre des performances et une qualité de données supérieures. Cet équipement est capable de fournir un ensemble d'applications d'imagerie et de caractérisation de semi-conducteurs incluant l'imagerie micro-structure, les mesures de dimensions critiques, l'imagerie haute résolution et la microanalyse de sonde électronique (EPMA). FEI XL 860 dispose d'un large champ de vision (jusqu'à 30mm), ainsi que d'une large gamme de grossissements de 5x à 500.000x. Cela permet une grande précision et précision dans l'imagerie et la mesure. Le système est également équipé d'une unité de navigation avancée qui assure un contrôle supérieur sur l'emplacement de l'imagerie. Cette machine utilise deux colonnes d'électrons identiques, permettant une imagerie simultanée avec les deux colonnes. PHILIPS XL 860 dispose d'un détecteur de rayons X à dispersion d'énergie (ED) intégré qui permet d'identifier un large éventail d'éléments. L'analyse des rayons X peut être utilisée pour déterminer la distribution de certains éléments au sein d'un échantillon en plus de sa composition. Cela permet à l'utilisateur de comprendre les propriétés physiques et chimiques d'un échantillon. Grâce à sa plateforme logicielle puissante et personnalisable, XL 860 est également capable de supporter des applications d'imagerie 3D. Les images rendues 3D fournissent aux utilisateurs un niveau de détail et de précision sans précédent. Ces images aident à identifier les caractéristiques qui ne sont pas visibles avec l'imagerie classique comme les caractéristiques de surface fine. PHILIPS/FEI XL 860 est également livré avec une grande variété d'accessoires pour améliorer ses performances. Il s'agit notamment d'un choix de lentilles, de serrures de mise au point, d'analyseurs, de plaquettes et de porte-échantillons. L'outil peut également être utilisé avec une gamme de matériel informatique haut de gamme et des périphériques pour assurer des performances optimisées. Dans l'ensemble, le FEI XL 860 est un outil puissant et polyvalent pour l'imagerie et l'analyse. Son logiciel UIP avancé, plusieurs colonnes d'imagerie, et une large gamme de fonctionnalités le rendent idéal pour une gamme d'applications SEM. Cet atout fournit aux utilisateurs le plus haut niveau d'information et de contrôle, leur permettant de maximiser le potentiel de leur SEM.
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