Occasion TOSHIBA / NUFLARE EBM-3500 #293817976 à vendre en France
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ID: 293817976
Electron beam lithography system
Covers
Input/Output (I/O) arm
Remote Monitoring System (RMS)
Extra High Voltage (EHV) cabinet
Automatic Lens Control (ALC) cabinet
Analog Control Processor (ACP) cabinet
Vacuum & Alignment Logic (VAL) cabinet
Electron Optical Controller (EOC) cabinet
Data Path Writer (DPW) cabinet
Motion & Alignment Control (MAC) cabinet
Pattern Data Formatter (PDF) cabinet
PRX cabinet
Power Control Unit (PCU)
Transformer Rectifier Unit (TRU)
Chiller
Environmental Warning System (EWS)
(3) Dry pumps
Orion
(6) Exhaust covers
(8) Sub‑controller boxes (SUB), AMP boxes
Cables
Standard Mechanical Interface (SMIF) loader.
TOSHIBA/NUFLARE EBM-3500 est un microscope électronique à balayage (SEM) qui offre des techniques telles que l'imagerie électronique secondaire, l'imagerie électronique rétrodiffusée et la spectroscopie à rayons X dispersive d'énergie (EDS). Le SEM a un grand champ de vision (FOV) jusqu'à 25mm et un imageur de haute qualité qui peut atteindre une résolution de 1,0 nm. Son système EDS offre une résolution spectrale et une précision élevées pour la cartographie des rayons X et l'analyse élémentaire. Le SEM est équipé d'un canon à émission de champ froid (CFEG) qui permet l'imagerie de courant à faible faisceau, l'imagerie haute résolution, et les dommages à cathode basse. L'optique électronique à balayage de haute qualité est conçue pour minimiser l'astigmatisme et le coma, tout en fournissant une grande profondeur de champ et une large gamme de distance de travail. Le SEM est équipé d'une variété de logiciels de contrôle et d'analyse qui fournissent aux utilisateurs un ensemble complet de fonctionnalités. Ces paquets fournissent des fonctions telles que la couture automatisée des images, l'affûtage des images et le tracé des spectrogrammes. TOSHIBA EBM-3500 est également équipé d'un gestionnaire de plaquettes qui fournit un échange automatisé de substrats. Le système supporte des plaquettes jusqu'à 150 mm, 200 mm et 300 mm qui peuvent être scannées à des vitesses allant jusqu'à 20 ms/pixel. Le SEM comprend une chambre de spécimen avec un balcon d'échantillon innovant pour un accès et un fonctionnement faciles. Il est capable de fonctionner dans des températures allant de -20 ° C à 15 ° C NUFLARE EBM-3500 dispose d'un système informatique amélioré, d'une interface conviviale et d'un pilote d'impression. Il est conçu pour être facile à utiliser et à entretenir. EBM-3500 microscope électronique à balayage est un outil puissant et polyvalent conçu pour permettre l'exploration scientifique et la connaissance dans de nombreux domaines tels que la science des matériaux, la nanotechnologie, la fabrication de semi-conducteurs, la métallurgie, et plus encore. Sa combinaison de caractéristiques, y compris la capacité d'imagerie précise, l'identification des éléments, et le fonctionnement facile en font un choix idéal pour la recherche, l'industrie, ainsi que des fins éducatives.
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