Occasion ACCRETECH / TSK AD-2000T #9187561 à vendre en France
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Vendu
ID: 9187561
Taille de la plaquette: 12"
Dicing saw, 12"
Frames and cassettes:
12" Infineon frame C66365-A0034-C068-03-0006
12" Infineon frame C66365-A0034-C068-03-0006
12" ePAK Resources EFF12-300-3,5-EM-59
12" Disco frame DTF2-12-1
12" Frame magazine metal (Infineon standard)
Accuracy:
Kerf off-center: < 5 µm (6σ)
Kerf off-center Y1 to Y2 axis: < 3 µm (6σ)
Z-Axis repeatability: < ± 1µm (6σ)
Non contact set-up repeatability: < σ 2 µm (6σ)
Difference between chuck set-up and non-contact set-up: Max 4 µm (6σ)
Y-Movement (Y-axis for 1st and 2nd spindle):
Closed loop system
Effective stroke of each axis: min 310 mm
Indexing setting range:
0,0001 (0,1µm) to 310 mm for Y-axis and for y-axis.
Cumulative indexing error: < 3µm (6σ) at full range of 310mm (Y1-axis)
Single indexing error: < 2µm (6σ) at full range of 5mm
X-Movement:
Effective cutting stroke: 310mm
Stroke setting range: 1" - 12"
Programmable cutting speed: 0,1 to 300mm/s
Back movement speed 1000mm/s
X-Axis straightness: < 3 µm (6σ) /310 mm
Perpenticularity between X-axis and spindle shaft: < 8 arc sec (6σ) (1 arc sec = σ / 180 x 3600)
Perpenticularity between X- and Y- axis: < 10 arc sec (6σ)
Z-Movement:
Minimum step: 1 µm (6σ)
Effective stroke: > 14 mm (2" Blade)
Z-Axis speed: 50.0 mm/sec
Z-Axis repeatability: σ 1 µm (6σ)
Theta-movement:
Rotation angle: 0° - 320° CW and 60°CCW from initial point
Rotation speed: 45°/sec
Repeatability: ± 2 arc sec (6σ)
Closed loop system
Spindle:
Temperature stable spindle
Output: 1800W
Rotation speed: Up to 60.000 rpm
Dynamic vibration measured on any point of the spindle: Up to 55.000 rpm: < 0.5 µm
Blade connection: ¾"
Si-wafer cleaning system:
Atomizing nozzle at cleaner (N2/DI water)
Rotation range: 100 to 3000 rpm (Programmable)
Time setting: 1 - 999 sec (Programmable)
Stop position accuracy: ±1°
Voltage: 210 VAC ± 6%
3 Phase
50 Hz ± 1%
Compressed air pressure:
0,5 to 0,8 MPa
350 NL/min
N2:
0,5 to 0,8 MPa
200N L/min
Wheel coolant / Spinner cleaning water / Water curtain:
0,2 to 0,4 MPa
14 L/min
Spindle coolant:
0,2 to 0,4 MPa
3,0 L/min
Rinsing water:
0,2 to 0,4 MPa
1,0 L/min
Duct capacity >5 m3/min.
ACCRETECH/TSK AD-2000T Scribing/Dicing Equipment est un outil de haute précision pour le traitement des plaquettes semi-conductrices et autres substrats. Le système est conçu pour permettre la coupe précise de ces matériaux dans les applications de scribing et de dicting. TSK AD-2000T dispose d'une tête de coupe haute vitesse, d'une table pour le support matériel et d'une unité de commande avancée en boucle fermée qui fournit des résultats très précis et reproductibles. La machine se compose d'une tête de coupe à cinq axes, qui a une vitesse d'alimentation maximale de 4500mm/s et une vitesse de coupe horizontale linéaire de 300mm/s, et d'une table linéaire XYZ, qui peut accueillir des substrats jusqu'à 900mm de taille. La tête de coupe est conçue pour scriber avec précision et rapidité les points de précision ultra-fins, les lignes et les formes dans les substrats. Les axes linéaires sont entraînés par un servomoteur DC à entraînement direct ainsi que par un outil de contrôle de mouvement avancé qui permet à l'actif de fournir une précision, une répétabilité et une vitesse élevées, même en manipulant les plus petites caractéristiques des substrats. ACCRETECH AD-2000T dispose également d'un modèle de contrôle en boucle fermée qui assure un scribage et un dictage précis des matériaux. L'équipement peut être utilisé avec différents types de lames, y compris des lames de scribing diamant, des lames de carbure, et des têtes de coupe laser. En outre, AD-2000T peut être équipé d'un système optionnel de vision et de traitement d'image qui permet de corriger les erreurs et d'améliorer les fonctionnalités du processus. ACCRETECH/TSK AD-2000T dispose également d'une suite d'outils logiciels avancés pour la programmation de pièces faciles et reproductibles. Le logiciel offre une suite complète de fonctionnalités CAO/CAM, y compris le dessin 2D et 3D, l'édition, l'emboîtement et la simulation graphique 3 axes. Cela permet aux utilisateurs de programmer l'unité rapidement et précisément dans les applications de scribing et de dicting. De plus, la machine de contrôle en boucle fermée de TSK AD-2000T assure un environnement de travail sûr et une intégration transparente dans les processus des utilisateurs. Cela garantit un meilleur niveau de performance et de répétabilité dans les processus. Avec sa combinaison de matériel et de logiciels avancés, ACCRETECH AD-2000T fournit un outil efficace et fiable pour le traitement des substrats dans les applications de scribing et de dicting.
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