Occasion ROTH & RAU DEPx1500 #185721 à vendre en France

ROTH & RAU DEPx1500
ID: 185721
System Throughput of 1500 wafers per hour.
ROTH&RAU DEPx1500 est un équipement de production solaire polyvalent conçu pour des performances élevées et un débit maximal. Cette machine de production est conçue pour un fonctionnement continu dans une grande variété d'applications, y compris la production de cellules solaires de surface arrière à haut rendement. Cet équipement de production solaire est équipé d'une plate-forme de module de traitement flexible permettant un traitement de haute qualité des plaquettes de silicium. Sa fonction avancée d'automatisation des processus peut traiter automatiquement plusieurs cellules simultanément et permet aux utilisateurs de définir des routines automatiques spécifiques pour minimiser le temps de production et maximiser le débit. DEPx1500 utilise la technologie de gravure et de dépôt pour le traitement. La technologie de gravure élimine le silicium de la couche supérieure de la plaquette et dépose le silicium sur la couche sous-jacente. Au cours du processus de gravure, le dispositif produit des motifs de ligne uniformes avec un réaménagement minimal, des tranchées uniformes profondes et des taux de gravure élevés. Le dispositif présente également une caractéristique de dépôt de films tels que du nitrure de silicium, du dioxyde de silicium et du silicium amorphe avec uniformité. ROTH&RAU DEPx1500 est conçu pour une production à haute vitesse et à faible défaut. Il est équipé d'une grande table de travail et d'un système de pompage économe en énergie pour des cycles plus rapides. Le système de vide est conçu pour assurer une uniformité de température et une pression uniforme. Il dispose également d'une machine de cartographie automatisée des plaquettes qui peut mesurer la topographie de surface des plaquettes d'une condition de processus donnée. DEPx1500 comprend également des systèmes intégrés de contrôle de la qualité et d'inspection des défauts afin de réduire le gaspillage. Ses systèmes laser d'inspection des défauts peuvent détecter les caractéristiques de surface manquantes ou mal alignées et les contaminations par les particules. Les paramètres contrôlés par le logiciel fournissent un contrôle précis et une reproductibilité précise du processus. En outre, ROTH&RAU DEPx1500 est conçu avec des caractéristiques de sécurité avancées. Il dispose d'une plaque de base solidement collée qui prévient les dommages des plaquettes et protège contre les risques électriques et thermiques potentiels. Le système de gestion de la température haut de gamme prévient en outre les pertes de température et assure le maintien de la température du substrat et du procédé conformément aux paramètres spécifiés. Cela fait de DEPx1500 un équipement de production solaire sûr et fiable.
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