Occasion ROTH & RAU XXL #9117922 à vendre en France
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ID: 9117922
Style Vintage: 2008
PECVD System
Environmental conditions:
Temperature: 22°C-25°C
Relative humidity: 30%-50% (Non condensing)
Process gas:
Silane SiH4 4.0 200 sccm per MFC 4 ¼"
Ammoniac NH3 3.8 1000 sccm per MFC 5 ¼”
Nitrogen N2 5.0 2000 sccm per MFC 2 ¼"
10000 sccm per MFC 1 auf N2 calibrated ¼"
Stirring gas and ventilation gas
Name: Nitrogen
Formula: N2
Pureness: 2.8 (Technical quality)
Inlet pressure device: 6-7 bar
Connection value (max. value): 1085 l/min
Average consumption: 735 l/min
Connection fitting with internal thread ½"
Inlet pressure purging function gas cabinet 2 bar
Inlet pressure valve control gas cabinet 5 bar
Inlet pressure for pressure storage
Lock chamber ventilation 4 bar
Compressed air
Quality: Oil content 0,01 mg/m³ (Oil and water-free)
Particle size: < 0.1 μm
Particle concentration: < 0.1 mg / m³
Working pressure: 6-7 bar
Connection fitting with internal thread 1/2"
Consumption (in average at cycle time): 111 l/min
Connection (max. value): 111 l/min
Cooling water:
Quality: Water hardness range “soft” less than 1.5
Millimol calcium carbonate per liter (Equals 8.4°dH)
PH Value: 7-9
Foreign particle size: < 0.2 mm
Dissolved chlorine Cl: < 20 mg/l
Dissolved carbon dioxide CO2: < 10 mg/l
Pressure flow: 4-6 Bar
Pressure spread p flow-outlet 3 bar
Temperature flow: 18°C < 22°C ( T 5K flow-outlet)
Consumption: 326 l/min
Connection feed and outlet: 2”- Fitting (External thread)
Power supply:
Connected voltage: 3 x 400 V ± 5 %+N+PE / 50 Hz
Electrical total load: 460 kVA
2008 vintage.
ROTH&RAU XXL est un équipement de production solaire conçu pour produire des cellules photovoltaïques (PV) à haut rendement. Il est spécialement conçu pour les procédés de fabrication de cellules solaires, y compris l'introduction de l'impression cellulaire sans fil. L'équipement est rempli d'une gamme complète d'outils, de composants et d'un équipement spécial qui permet une production efficace de cellules photovoltaïques solaires. L'équipement comprend un équipement de photolithographie avancé comprenant un projecteur haute résolution, un changeur de masque automatisé, une chambre d'exposition et une caméra de préalignement. Ce système est capable de réaliser des schémas de fabrication très précis et de grande précision. L'unité optique est capable de produire des fréquences de coupure d'épaisseur de film comprise entre 0,2 et 2,0 microns. XXL dispose d'une machine de surveillance et de contrôle des processus qui aide le fabricant de cellules à s'assurer que le processus de fabrication répond à la précision et à la vitesse de production requises. Cet outil est composé de plusieurs composantes intégrées, dont l'enregistrement des paramètres de processus, la rétroaction des processus en temps réel, le contrôle de l'équipement basé sur des paramètres et le contrôle statistique des processus. Ce puissant outil de surveillance fournit également des données complètes sur les réglages actuels de la piste, les paramètres du processus, la température des cellules, le PMU et le substrat, ainsi qu'un large éventail d'autres informations utiles. En outre, ROTH&RAU XXL est équipé de plusieurs outils de production avancés, dont un modèle automatisé de manutention de substrat, une unité de test et d'inspection, un équipement de clivage des cellules et un module d'affichage automatique à cristaux liquides (LCD). Ce module automatisé prend en charge le tri, le cadrage, le nettoyage, le montage et le laminage des cellules. Enfin, XXL dispose également d'un système semi-automatisé de contrôle des processus. Cela permet la création et la modification de différentes étapes de processus, y compris le masquage, l'exposition, l'impression, le séchage, le nettoyage, le revêtement des pulvérisateurs et le test de conductivité. L'unité est également construite pour contrôler le rendement et l'effet de la cellule sur les variations de processus, ainsi que faciliter la gestion des paramètres de processus tout au long de la phase de mise en oeuvre. Dans l'ensemble, ROTH&RAU XXL est un équipement de production solaire très efficace avec la capacité de produire des cellules photovoltaïques à haut rendement. Il est compact, mais puissant permettant aux utilisateurs d'exécuter tous les processus de fabrication nécessaires rapidement et avec précision. Il est également équipé d'un ensemble complet d'outils et de composants, ce qui en fait un excellent choix pour les procédés de fabrication de cellules.
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