Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-27983 #9395039 à vendre en France
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ID: 9395039
Taille de la plaquette: 12"
MCA E-Chuck, 12"
Leaks:
Bellows: 1 x 10E^-9 cc/s
Helium line: 1 x 10E^-9 cc/s
SUS Cover: 1 x 10E^-9 cc/s
Ceramic plate thickness: 11±5 mm
Dimple height: 4±1 Micron
Pad dimple height: 4±1 Micron
Depth of groove: 120±15 Micron
Luminosity: 70~180
Flatness of WF zone: 0.02~0.08 µm
TC1: 6.0~20.0 Ω
TC2: 6.0~20.0 Ω.
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