Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-49247 #293821010 à vendre en France
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AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura 2 est un équipement de pointe, conçu pour le traitement avancé des filaments minces, tels que le dépôt de matériaux semi-conducteurs, de photorésist ou de diélectrique. Sa configuration unique combine un environnement à vide élevé et à basse température avec des panneaux sources de matériaux avancés, permettant un contrôle précis de l'épaisseur des couches minces, de la composition et de la couverture des étapes. Le réacteur AMAT Endura 2 se compose d'une chambre principale entourée de quatre panneaux sources à basse température. Sur les panneaux sources, les utilisateurs peuvent fixer divers matériaux, tels que les métaux, les oxydes, les nitrures ou le silicium polycristallin, et les chauffer à une température précise. Ceci permet un meilleur contrôle des propriétés du film telles que la composition, la couverture des étapes et la résistivité thermique. De plus, ces panneaux facilitent l'utilisation de films ultra-minces et de profils de dépôt complexes. La chambre principale à l'intérieur de MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura 2 est un environnement à vide élevé entretenu par quatre pompes turbo-moléculaires situées à chacun de ses coins. Une plaque de quartz intégrée située au centre de la chambre fournit la plate-forme robuste sur laquelle les sources et les porte-échantillons sont montés et manipulés. La pression à l'intérieur de la chambre est typiquement réduite à une très faible plage de 0,1-0,2 mtorr, permettant un dépôt d'ultra-haute pureté, sans impuretés. Le fonctionnement efficace d'Endura 2 nécessite un gaz de remplissage partiel de la chambre, tel que l'hélium ou l'argon, pour maintenir une pression dans la plage souhaitée. En plus de sa chambre principale, AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2 Reactor dispose d'un système de contrôle intégré pour assurer un contrôle précis des variables de processus et permettre des résultats reproductibles. L'unité utilise la machine de contrôle Xycom XPNT avec des contrôleurs de mouvement de précision et des communications Ethernet, permettant aux utilisateurs de programmer les meilleures données de recette de processus pour le dépôt de films minces. Les avantages supplémentaires du réacteur AMAT Endura 2 comprennent de faibles coûts d'exploitation, une impression au pied relativement faible et d'excellentes capacités de propreté. Il a été conçu avec la responsabilité environnementale en tête, et a reçu des certifications environnementales largement reconnues par le MPZ International Quality Standard. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura 2 fournit une plate-forme informatique fiable pour le traitement avancé des couches minces, obtenant des résultats précis, reproductibles et peu coûteux pour le dépôt de matériaux de haute qualité.
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