Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for DPS #293634864 à vendre en France

AMAT, Inc. (MATÉRIAUX APPLIQUÉS) La chambre DPS est un système de graveur humide et de cendres sèches qui est utilisé principalement pour des applications de traitement de semi-conducteurs. DPS représente le ministère des Services de précision, l'ancien nom de cette Chambre. Il s'agit d'un graveur et asher à écoulement horizontal, c'est-à-dire qu'il est typiquement actionné par une chimie liquide ou solide qui circule verticalement à l'intérieur de la chambre. La chambre DPS est construite en acier inoxydable avec un revêtement soudé en aluminium de qualité électrolytique pour la durabilité et la performance. Environ un tiers de la chambre est revêtu d'un insert amovible en verre à haute température. La chambre dispose également d'un joint de vide en acier inoxydable autour des orifices d'entrée et de sortie des gaz. La chambre est conçue pour pouvoir traiter simultanément une seule ou plusieurs plaquettes avec un degré élevé de reproductibilité et de précision. Les plaquettes sont maintenues en place à l'intérieur de la chambre par des pinces mécaniques et sont fixées à l'embase de la chambre par un orifice de vide. Cela permet à la chambre de maintenir une atmosphère gazeuse dense et permet une gravure humide efficace et des opérations d'échange chimique. Les produits chimiques utilisés dans la chambre DPS peuvent varier en fonction de l'application, mais comprennent généralement l'acide fluorhydrique (HF), l'acide sulfurique (H2SO4), l'hydroxyde de potassium (KOH), l'acide citrique (acide citrique) et une variété d'autres acides et bases. Les plaquettes en cours de traitement sont exposées à une vapeur chimique ou à un mélange liquide vaporisé, souvent de l'oxygène ou de l'azote, ce qui facilite le processus de gravure ou de cueillette chimique souhaité. La chambre est également équipée d'un dispositif de contrôle atmosphérique pour maintenir une pression constante à l'intérieur de la chambre et minimiser le risque de contamination des particules. La chambre est reliée à un système de vide pour assurer une pression contrôlée et uniforme dans la chambre, ainsi que pour maintenir une basse pression à l'intérieur de la chambre. À l'extérieur de la chambre, un certain nombre de commandes et de jauges sont utilisées pour gérer le processus à l'intérieur de la chambre. Ceux-ci permettent à l'opérateur de contrôler la pression de la chambre, les produits chimiques utilisés et la température. En outre, la chambre peut être équipée d'une variété de capteurs et d'alarmes qui permettent à l'opérateur de suivre et de surveiller l'avancement du processus. La chambre DPS est un excellent outil de gravure et de cueillette de plaquettes semi-conductrices. Il fournit un environnement fiable et contrôlé pour la fabrication d'appareils électroniques. La chambre peut être utilisée pour divers procédés, y compris la gravure par ions réactifs profonds (DRIE), la gravure humide, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le polissage chimique mécanique (CMP). Ce procédé fiable, reproductible et précis fait de la chambre DPS un excellent choix pour la fabrication de composants de haute performance et de haute précision.