Occasion AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 #293809480 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293809480
Style Vintage: 2011
Sputtering system
Deposition chamber: 15.6" x 14" OD, Vacuum chamber with flange
O-Ring seal
Chamber bottom: 16.5" CF With copper gasket
No substrate heater
(1) Argon Mass Flow Controller (MFC)
(5) DC guns
No RF guns
Target: 3"
RF substrate bias:100W
Chamber body:
CF Viewport with integrated shutter, 6"
Turbopump / Gate valve (8" CF)
Vacuum gauges ((2) 2.75" CF, (1) 1.33" CF)
Substrate holder flange
Vent valve
Load-lock (10" CF)
2.75" CF and 6" CF Ports
(2) Removable stainless steel chamber liners
Integrated instrument rack
Heavy duty caster
Leveling feet and powder-coated table top
Chamber light mounted table top
Hinge for chamber top
Water mainfold with flow sensor
Vacuum pumping:
700 l/s PFEIFFER wide range turbopump with controller
Cables and delayed vent valve
8.2 CFM Alcatel dry
Lobe type backing pump with integral valve
Interconnecting plumbing
(3) DC Supplies
RF Supply
Power: 600 W
Automated 4-Way DC Switch box
Cable set
Vacuum gauge:
GRANVILLE-PHILLIPS 307 Gauge controller
(3) Head outputs with Nude ion gauge, convectron gauge and Baratron gauge heads: 100 mTorr
QUARTZ Crystal thickness monitor:
Single low profile
Crystal sensor
Heat sink
Controller
Oscillator
Cable
(10) Crystals
Substrate holder:
(3) Accommodates, 3"
Continuous motorized rotation: 0 to 40 RPM, Controller
Standard transferable, aluminum, 7" OD x 0.25"
Custom transferable, aluminum, 7" OD x 0.25"
RF/DC Biasing capability
Power supply: 100 W
Gas handling:
Mass flow controlled gas line (Ar): 100 SCCM with pneumatic isolation valve filter
Pressure control / Vacuum valves:
VAT Series 64 Closed loop
Automatic pressure control
Isolation gate valve
Manual vent valve
CF Size: 8"
Load lock:
Low volume aluminium chamber
Single billet
Removable loading door
Magnetic transfer arm with custom susceptor
Full range vacuum gauge
Wide range: PFEIFFER 80 Litres p/s
Compound turbomolecular pump with delayed vent
TMP Controller
Interconnecting plumbing
(4) CFM Alcatel mechanical backing pumps
Isolation gate valve: 10" CF
Main chamber with load-lock adaptor flange
2011 vintage.
AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 est un équipement de pulvérisation de pointe qui représente une avancée significative dans la technologie de dépôt de couches minces. Ce système polyvalent est conçu pour répondre aux exigences de la recherche et des applications industrielles nécessitant une grande précision et un contrôle des procédés de dépôt de couches minces. L'unité dispose d'une gamme de fonctionnalités et de capacités innovantes qui en font un choix privilégié pour les chercheurs et les ingénieurs travaillant dans divers domaines tels que la microélectronique, l'optique et la science des matériaux. Une des caractéristiques clés de l'ATC Orion 8 est sa technologie avancée de pulvérisation magnétron, qui permet un dépôt précis et uniforme de couches minces sur des substrats. La machine utilise des sources de pulvérisation magnétron pour ioniser les atomes de gaz et les déposer sur la surface du substrat, ce qui permet la création de couches minces avec un contrôle d'épaisseur et une uniformité exceptionnels. Cette technologie garantit des taux de dépôt élevés et une excellente qualité de film, rendant AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 idéal pour une large gamme d'applications nécessitant des films minces haute performance. ATC Orion 8 est équipé d'un maximum de huit sources de pulvérisation, offrant aux utilisateurs la flexibilité nécessaire pour déposer plusieurs couches de matériaux et créer des structures complexes en couches minces. L'outil offre un large éventail de matériaux cibles, y compris les métaux, les alliages et les oxydes, permettant aux utilisateurs de personnaliser le processus de dépôt en fonction de leurs besoins spécifiques. De plus, l'actif comporte un support de substrat tournant, permettant le dépôt sur une grande surface avec une répartition uniforme de l'épaisseur du film. En termes de capacités de contrôle et de surveillance, AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 est équipé d'une interface conviviale qui permet un fonctionnement facile et une surveillance en temps réel du processus de dépôt. Le modèle est équipé d'un logiciel avancé de contrôle des processus qui permet aux utilisateurs d'ajuster avec précision les paramètres de dépôt tels que le débit de gaz, les niveaux de puissance et le temps de dépôt pour obtenir les propriétés de film souhaitées. En outre, l'équipement est équipé d'outils de diagnostic in situ qui permettent un suivi en temps réel de la croissance et de l'épaisseur du film, garantissant une reproductibilité élevée et une qualité de film cohérente. L'ATC Orion 8 est conçu en tenant compte de l'évolutivité, ce qui permet aux utilisateurs d'améliorer le système avec des fonctionnalités et des capacités supplémentaires pour répondre aux exigences évolutives en matière de recherche et de production. L'unité est construite avec des composants et des matériaux de haute qualité pour assurer la fiabilité à long terme et la cohérence des performances. En outre, la machine dispose d'une empreinte compacte, ce qui la rend adaptée aux environnements de laboratoire avec un espace limité. Dans l'ensemble, AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 est une solution de pointe pour les applications de dépôt en couches minces qui nécessitent une grande précision, flexibilité et fiabilité. Avec sa technologie avancée de pulvérisation magnétron, ses sources de pulvérisation multiples et son interface conviviale, ATC Orion 8 offre aux chercheurs et aux ingénieurs un outil puissant pour explorer de nouveaux matériaux et structures en couches minces. Que ce soit dans le milieu universitaire ou industriel, AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 est un choix de confiance pour ceux qui cherchent à faire progresser leurs capacités de dépôt de couches minces.
Il n'y a pas encore de critiques