Occasion AJA Orion 5 #293817160 à vendre en France
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ID: 293817160
Taille de la plaquette: 4"
Sputtering chamber, 4"
(5) Confocal sputtering guns
(3) 700-Watt Direct Current (DC) power supplies
(2) 300-Watt Radio Frequency (RF) power supplies and matching networks
(1) 50-Watt Radio Frequency (RF) power supply and matching network for substrate etch
Load lock
Rotating platen.
AJA Orion 5 est un équipement de pulvérisation conçu pour une variété de procédés de technologie de couches minces. Il permet aux utilisateurs de créer des films transparents d'oxyde, de nitrure et de métal diélectrique pour des PV avancés, des écrans tactiles et des dispositifs microélectroniques. Le système intègre une unité de pulvérisation sous vide à cinq chambres, permettant aux utilisateurs de créer des couches de film de haute précision avec des épaisseurs optimisées. La fonction à cinq chambres permet d'utiliser différentes configurations de pulvérisateurs, offrant une flexibilité pour diverses exigences d'application. La machine comprend une chambre automatique à six axes, ou X, Y, Z, rouleau, inclinaison et robot de rotation pour le positionnement exact de la cible de pulvérisation. Ceci permet un contrôle précis de la distribution des pulvérisateurs et des paramètres géométriques. La conception du capot fournit également un champ magnétique réglable, ce qui contribue à la vitesse de dépôt uniforme sur le substrat. Orion 5 offre une gamme de cibles de pulvérisation pour une variété de matériaux différents tels que l'aluminium, le silicium, le chrome, l'or et d'autres composés pour des performances différentes. Il offre également un dépôt direct de particules pulvérisées sur de multiples substrats sans techniques de dépôt supplémentaires. Cet outil est convivial et permet aux utilisateurs de surveiller l'état du processus, ainsi que des paramètres tels que la pression, la température, le débit de gaz, le courant de pulvérisation et le temps. Il présente également des caractéristiques de sécurité telles que l'aération automatique des raccords de la chambre et de la bouteille de gaz. AJA Orion 5 comprend également un logiciel puissant, permettant aux utilisateurs de contrôler les paramètres de pulvérisation tels que la pression, la tension, le courant, la température, la pression de dépôt et la taille du substrat. Le logiciel fournit également des capacités d'analyse de données telles que des informations sur l'épaisseur et l'uniformité, ainsi que d'autres caractéristiques du film, qui peuvent être utilisées pour optimiser le processus. Dans l'ensemble, Orion 5 est un atout de pulvérisation avancé qui offre flexibilité, fiabilité et précision dans un ensemble convivial. Grâce à sa conception à cinq chambres, à ses multiples cibles de pulvérisation et à ses puissantes capacités logicielles, il est capable de produire des films minces de qualité pour des procédés technologiques de pointe.
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