Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 620B #9315281 à vendre en France
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ID: 9315281
Sputtering system
(2) Chambers
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor
(3) Cryo pump helium lines
ALCATEL 2063 Mechanical pump
ALCATEL 1005 Mechanical pump
LEYBOLD Pump Oil
HE-200 Hydrocarbon
Transfer chamber
Load lock
Generator rack
Panel frame
Hoist
PDU
Module
5 kW Generator.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 620B est un équipement puissant et fiable conçu pour les applications de recherche sur les matériaux. Il utilise un agencement magnétron qui permet un haut degré de chauffage du substrat, un contrôle précis des paramètres de dépôt, et une excellente homogénéité du film déposé. Le système est capable de pulvériser une gamme de matériaux allant des métaux, des alliages et des matériaux composés aux semi-conducteurs avec un contrôle supplémentaire de l'épaisseur et de la composition du dépôt. ADIXEN 620B est construit autour d'un mécanisme rotatif et oscillant à grande vitesse qui permet la commutation rapide de l'électrode de pulvérisation d'un matériau à un autre - ce qui est une caractéristique essentielle pour les films minces multi-composants. Ceci permet également d'assurer que la répartition potentielle sur la cible reste homogène même lors des longs dépôts. La puissante unité de commande de l'unité peut être utilisée pour surveiller les paramètres du processus tels que la pression, la température, la vitesse de dépôt, la polarisation du substrat et les caractéristiques électriques de la cible en temps réel. Cela le rend extrêmement précis, précis et fiable pour les applications de recherche. La machine est alors couplée avec un ordinateur central polyvalent et une interface utilisateur. Cette combinaison fournit une interface intuitive pour la manipulation d'un grand nombre de paramètres de dépôt. Il peut également être utilisé pour la programmation du processus de dépôt. La puissante unité de commande garantit également que l'outil est très automatisé, avec un temps de réaction rapide permettant des changements de température rapides et la stabilité de la pression. ALCATEL 620B est bien adapté à la plupart des fins de recherche sur les matériaux car il est conçu pour travailler avec une gamme de matériaux incluant les métaux, les alliages et les composés. Les fonctions intégrées de chauffage des cibles permettent également une évaporation fiable et uniforme de divers matériaux à partir de liquide ou de solide par faisceau d'électrons. Le logiciel convivial comprend également des installations et des fonctions de suivi qui rendent l'actif adapté pour le dépôt de plusieurs couches de matériaux différents. Dans l'ensemble, 620B est un modèle de pulvérisation hautement efficace et fiable conçu pour des applications de recherche sur les matériaux. Il possède un excellent contrôle des paramètres de dépôt et une excellente homogénéité des films déposés. Le logiciel convivial aide à rendre l'équipement flexible et fiable dans un large éventail d'applications.
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