Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 600 #9192498 à vendre en France
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ID: 9192498
Pump
(3) Sputter up cathodes size: 8"
Load lock
Process gas supply: MFC, (3) lines
HUTTINGER RF Generator: 13.5 6 MHz, 1.2 kW
Impedance matching network.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 600 est un puissant équipement de pulvérisation utilisé pour déposer des matériaux en couches minces sur des substrats. Ce système polyvalent est très adaptable, permettant aux utilisateurs de le personnaliser pour une application donnée, que ce soit pour la réalisation de revêtements métalliques sur des modèles plastiques ou pour la réalisation de circuits intégrés. L'unité est constituée d'une chambre de pulvérisation à trois cibles, alimentée par une source magnétron à courant continu de forte puissance. Les sources sont reliées à la chambre par des câbles blindés, puis les échantillons à enrober sont montés sur le porte-pulvérisateur à l'intérieur de la chambre. Une machine à vide intégrée maintient la pression de la chambre au niveau optimal pour le dépôt de film. La principale composante de l'outil est sa source de faisceau de particules robuste et de haute précision. Il produit des faisceaux ioniques très uniformes et contrôlables qui peuvent être librement ajustés pour n'importe quelle vitesse de dépôt ou composition souhaitée. La source a une excellente gamme de précision et intègre plusieurs caractéristiques qui favorisent un fonctionnement fiable et précis. Cela le rend adapté à une grande variété de tâches de dépôt de matériaux. L'ADIXEN SCM 600 possède également un atout d'introduction de gaz, qui permet aux utilisateurs d'appliquer des gaz réactifs pendant le processus de dépôt pour former des revêtements adhésifs ou durs. Il comprend une gamme complète de recettes programmables, permettant aux utilisateurs de répéter facilement tout processus de pulvérisation. Le modèle peut manipuler des échantillons jusqu'à une taille maximale de 400mm x 250mm, et offre le choix de plusieurs films, y compris le chrome, le tungstène, l'aluminium, le cuivre et l'or. En plus de ses capacités de pulvérisation, ALCATEL SCM 600 offre plusieurs options aux utilisateurs pour surveiller et examiner les performances de l'équipement. Il comprend une interface utilisateur graphique (UI) qui montre la vitesse de dépôt ainsi que la température et la pression à l'intérieur de la chambre à un moment donné. L'interface graphique affiche également des diagnostics système et des alarmes pour alerter quand un paramètre sort de sa plage spécifiée. En conclusion, SCM 600 est une unité de pulvérisation par pulvérisation rapide et polyvalente qui convient à un large éventail d'applications de dépôt en couches minces. Sa source de faisceau de particules est capable de délivrer des films homogènes, tandis que son interface graphique permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler facilement le processus de dépôt.
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