Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 650 #9253767 à vendre en France

ID: 9253767
Sputtering system With loadlock RF/DC Sputtering (with or without bias) Ionic cleaning Process gas: Argon, Nitrogen Stainless steel chamber, 26" Diameter: 650 mm Fitted with port-holes and flanges Port pumping, 6" (2) Magnetron targets, 8" Water flow: 15 l/min Pressure: 6 bar Compressed air pressure: 6 bar ±0.5 Dry nitrogen pressure: 1.5 bar Manuals included Load lock: 6" Substrates Substrate holder: (4) Stations (6) Indexed positions (4) Transfer positions (2) Sputtering positions Rotation: 1 to 30 rpm Vertical translation: 50 mm - 100 mm One 3/4 automatic shutter RF Generator: 2000 W DC Generator: 3000 W Pump: Load lock:2012 A Rough rotary vane pump: 15 m³/h CHAMBER: 2033 A Rough rotary vane pump: 35 m³/h Secondary: 5402 CP Turbomolecular pump: 380 l/s INTER-SEAL: 1004 A Rough rotary vane pump: 4.5 m³/h Measurement: Load lock: PIRANI PB 122 Rough vacuum Chamber: PIRANI PB 111 Rough vacuum BAYARD ALPERT BN 111 Secondary vacuum BARATRON MN 121 Process vacuum (2) Gas lines Machine control : Programmable logic controller SIEMENS Simatic with an OP 395 CE Marked Power supply: 380 V, 3 Phase, 18 kVA.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 650 est un équipement de pulvérisation haute performance complet conçu spécifiquement pour les applications industrielles et académiques de production. ADIXEN SCM 650 fournit une pulvérisation précise et rentable d'une grande variété de matériaux de dépôt métalliques et non métalliques en couches minces sous le contrôle exigeant de son système d'automatisation fiable basé sur PLC. Cette unité de pulvérisation robuste est le choix idéal pour les processus sensibles aux coûts, en particulier en laboratoire ou en recherche et développement. En utilisant un procédé de pulvérisation magnétron modulaire, ALCATEL SCM 650 dépose des revêtements métalliques, alliés et non métalliques avec une excellente adhérence, uniformité et couverture d'étape. Son contrôle avancé des procédés permet le qPCR, la spectroscopie optique d'émission et les courbes d'Auger, ainsi que des augmentations de température et de temps pour améliorer le dépôt en couches minces. SCM 650 facilite également la mise en œuvre du réglage fin pour une utilisation différente du substrat. La grande chambre de pompage PFEIFFER SCM 650 est construite avec des matériaux de construction de haute qualité et dispose d'une grille motorisée pour accéder à la chambre de traitement, ce qui facilite l'ajout ou le retrait de substrats. Il est également livré avec un joint torique soudé pour la porte afin d'assurer un environnement sans fuite. La machine peut être surveillée et exploitée à distance via un navigateur Web, permettant aux utilisateurs d'accéder aux informations essentielles de l'outil ainsi qu'au contrôle des processus en temps réel et à la surveillance des données de traitement. L'ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 650 est équipé d'une commande de gaz active, y compris un actif argon haute compression monté à l'arrière du modèle. Il dispose également d'un orifice de purge pour minimiser la consommation d'hélium. La conception polyvalente de l'ADIXEN SCM 650 permet aux utilisateurs de personnaliser facilement leur procédé de revêtement en couches minces pour différentes applications. Par exemple, une configuration double couleur est facilement réalisable en reliant deux cibles de pulvérisation à la même source magnétron, et diverses autres configurations sont réalisables grâce à sa gamme d'options d'installation. La construction robuste de l'ALCATEL SCM 650 est testée pour s'assurer qu'elle fonctionne avec une efficacité et une durabilité maximales, même dans les environnements les plus difficiles. Il comprend également une série de dispositifs de sécurité tels que des emboîtements et des alarmes qui offrent une protection maximale pour les utilisateurs et l'équipement dans son ensemble. En conclusion, SCM 650 est un système de pulvérisation rapide et convivial qui offre des performances et une fiabilité inégalées. C'est la solution idéale pour les applications industrielles et académiques de production nécessitant des procédés de dépôt de couches minces précis et rentables.
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