Occasion ALCATEL / MEIVAC HEDA 2460 #9233936 à vendre en France
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ID: 9233936
Style Vintage: 1994
Sputter deposition system
RF Diode, 17"
Batch load
Throughput:
Overhead for wafer load: 2 Hrs
Pumping and venting plus deposition time: 3+ Microns / Hour
Wafer capacity:
(20) 3" Rounds
(12) 4" Rounds
(9) 5" rounds
(5) 6" rounds
Ultimate pressure: 2 x 10^-7 Torr
Sputtering process: RF Diode
Size, 17" square
Uniformity: 3% 1 Sigma (10 mm Edge exclusion)
1994 vintage.
ALCATEL/MEIVAC HEDA 2460 est un équipement de pulvérisation versatile conçu pour déposer des couches minces de matière sur des substrats. C'est un outil de pulvérisation à haut débit, capable de produire des dépôts de film uniformes avec une excellente couverture d'étape et la qualité de surface. MEIVAC HEDA 2460 est conçu avec divers composants et caractéristiques qui fournissent un contrôle précis sur le processus de pulvérisation. Au cœur d'ALCATEL HEDA 2460 se trouve un magnétron doté d'un aimant interne qui crée un champ magnétique élevé à la source de pulvérisation. Cela permet au plasma d'atteindre une température allant jusqu'à 10 000 K, permettant des taux de pulvérisation élevés. Le système comprend également une source d'ions qui assure le bombardement ionique et le durcissement superficiel des films. De plus, l'unité offre un obturateur in situ, permettant le dépôt de multicouches avec une épaisseur et des propriétés définies avec précision. La machine propose également un contrôleur programmable qui permet à l'utilisateur de définir avec précision les paramètres de dépôt pour chaque couche. Il s'agit notamment de la largeur des impulsions, du niveau de puissance et de la fréquence des dépôts afin de répondre à toutes les exigences spécifiques du procédé. Ceci assure un contrôle optimal du processus de dépôt et de ses performances globales. Le contrôleur surveille également le processus de dépôt, fournissant des commentaires sur le taux de pulvérisation, l'uniformité et la reproductibilité. Cela permet à l'utilisateur d'ajuster rapidement les paramètres pour assurer un dépôt uniforme et prédire le comportement du dépôt. HEDA 2460 offre également un écran tactile qui fournit une interface intuitive pour accéder à toutes les fonctionnalités et paramètres de l'outil. Cela permet à l'utilisateur d'ajuster facilement les paramètres, de surveiller le processus de dépôt et de stocker les recettes et les recettes de dépôt pour une utilisation future. ALCATEL/MEIVAC HEDA 2460 est le meilleur choix pour les procédés complexes de dépôt en couches minces, offrant vitesse, flexibilité et contrôle précis de l'épaisseur. Ces caractéristiques en font une solution rentable pour produire des films minces pulvérisés haute performance dans une gamme d'applications.
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