Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 1200L #9379482 à vendre en France
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ID: 9379482
Sputtering system
Target: ITO / SiO2
(3) ORELIKIN LEYBOLD VACCUM / WSU 2001H Dry pumps
(3) STERLING FLUID SYSTEM
(18) SHIMADZU / TMP-1503LM Turbo pump
(2) Air tanks
2019 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1200L est un équipement de pulvérisation de haute précision, conçu pour une large gamme d'applications de dépôt de matériaux. Le système utilise une configuration multi-source, multi-magnétron, avec chaque magnétron réglable indépendamment pour un contrôle optimal du processus. L'unité AKT 1200L est construite autour d'un mécanisme séquentiel multi-étapes source/table cible, qui permet un positionnement précis et reproductible des cibles par rapport aux sources. Ceci permet de pulvériser précisément des couches uniformes à partir de sources multiples. La table source/cible peut également être configurée pour la pulvérisation angulaire, permettant le dépôt de formes et de structures complexes. La machine AMAT 1200L est équipée d'une armoire de commande à écran EMI statique et d'un contrôleur logique programmable (PLC). Le PLC est utilisé pour contrôler le processus de l'outil, y compris le cycle des sources, et le niveau de puissance de chaque source. Le bouclier EMI facilite des mesures précises et une surveillance constante des paramètres du processus, tels que la pression de pulvérisation, le débit d'Argon, la puissance RF, et plus encore. 1200L dispose également d'une technologie avancée de suspension magnétique à faible vibration, qui minimise les vibrations et améliore le dépôt uniforme. Pour ce faire, on suspend la table source/cible par des forces attractives, générées par un réseau de petits aimants permanents. Quand couplé avec l'état de l'actif de l'automation d'art, le MATÉRIEL APPLIQUÉ 1200L peut être utilisé pour déposer de l'aluminium, du cuivre, du chrome, un tungstène, un titane et d'autres alliages, aussi bien que d'oxydes de ce matériel. Le modèle est disponible en plusieurs versions, pour répondre aux exigences spécifiques de l'application. Dans l'ensemble, AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1200L est un excellent équipement pour les applications de pulvérisation à haute précision. Son système multi-source et multi-magnétron permet un dépôt uniforme des couches, et son automatisation avancée assure un contrôle cohérent des processus. Sa technologie de suspension magnétique minimise les vibrations, et son faible EMI assure des mesures précises. En bref, AKT 1200L est un choix idéal pour une grande variété de dépôts de matériaux.
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