Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS NAR 1200L #9250995 à vendre en France
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ID: 9250995
Style Vintage: 2010
Vertical inline sputtering system
Cycle time: 35 seconds each side
ITO Application
2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT NAR 1200L est un équipement de pulvérisation de haute précision utilisé pour déposer des couches minces de matériau sur un substrat tel qu'une plaquette semi-conductrice. Ce système facilite la réalisation de circuits intégrés tels que des puces informatiques, qui nécessitent des couches de matériaux différents les unes sur les autres dans le cadre de leur processus de fabrication. Le 1200L est spécifiquement un automatisé, les numériques bafouillent l'unité de déposition qui peut travailler sur les palettes doubles, en tenant compte de la déposition de différent matériel sur substrates séparé dans le parallèle. Cette machine de dépôt de pulvérisateurs utilise une conception avancée d'entraînement direct dans laquelle les têtes de pulvérisateurs sont motorisées directement sans l'utilisation de paliers ou de joints, ce qui améliore la fiabilité et le temps de disponibilité de l'outil. L'actif 1200L est un modèle de 12 ", capable de déposer de grands substrats. L'intégration de la robotique dans les systèmes de dépôt des pulvérisateurs permet une manipulation efficace des plaquettes et un débit plus élevé. La conception avancée de la chambre de pulvérisation à faible profil de l'équipement assure une grande uniformité sur l'ensemble du substrat. Le système est construit sur une large gamme de solutions matérielles et logicielles personnalisées et commercialisées, permettant aux clients de choisir la technologie la plus efficace pour répondre à leurs besoins spécifiques en matière de processus. Il dispose d'un module de contrôle distinct pour optimiser le processus de pulvérisation en contrôlant les niveaux de vide, la distance cible/substrat et d'autres propriétés tout en maintenant l'uniformité et la répétabilité du processus. L'unité 1200L est équipée d'une puissante source de pulvérisation contrôlée par ordinateur, capable de déposer à haute vitesse des couches minces conductrices, isolantes, transparentes et semi-conductrices. Il est également capable de personnaliser des recettes individuelles pour différents processus et sous-processus. En outre, la machine dispose d'un matériel interne pour surveiller les conditions de processus et les pressions de gaz afin de contrôler et d'améliorer la répétabilité du processus. Cet outil comprend également une caméra haute résolution pour surveiller et visualiser le processus en temps réel et un moniteur de résistivité in situ qui donne un retour sur les propriétés du film en cours de dépôt. Avec ses caractéristiques flexibles, robustes et performantes, AKT NAR 1200L est la solution idéale pour réaliser des circuits intégrés qui nécessitent des couches minces de matériau. Sa conception Dual Pallet permet des processus de dépôt parallèles, et sa puissante source de dépôt lui permet de produire des films de haute qualité qui répondent aux exigences exigeantes de la production de circuits intégrés.
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