Occasion ANATECH Hummer VIII #9249717 à vendre en France
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ID: 9249717
Taille de la plaquette: 8"
Sputtering coater, 8"
(3) Target systems (2" in each triangle)
Pyrex chamber, 12"
Dual stage vacuum pump (Rebuilt)
(3) Sputter heads
(3) Sources for noble metals
Power consumption:
115 VAC, 60 Hz, 6 amps
220-250 VAC, 50 Hz, 3 amps
Output: 0-3000 Volts, 0-30 milliamps.
ANATECH Hummer VIII est un équipement de pulvérisation conçu pour le dépôt de couches minces sur des substrats à basse et haute température. Il dispose d'une plate-forme robuste et très flexible capable de déposer un large éventail de matériaux, y compris l'oxyde, le nitrure et les métaux. Le système offre également une homogénéité et une répétabilité supérieures, ce qui en fait un choix idéal pour des applications exigeantes. Hummer VIII comprend une chambre de substrat à haute température, capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 800 ° C Cela permet à l'utilisateur de traiter une variété de substrats à haute température et permet également l'utilisation de revêtements PECVD. Le HuVII offre également une large gamme de cibles de pulvérisation, y compris Si/SiO2 et SiC/SiNx, ainsi que des options diélectriques et métalliques. Une caractéristique particulièrement avantageuse de l'unité est la possibilité de configurations paires ou multi-cibles, qui permettent d'optimiser les procédés de revêtement pour réaliser des matériaux aux propriétés spécifiques. ANATECH Hummer VIII comprend une large gamme de contrôles de processus, permettant de maintenir des taux et des épaisseurs de dépôt précis. Cela peut être obtenu par une combinaison de paramètres de processus, y compris le débit de gaz, la composition du gaz, la pression, la puissance RF, la vitesse de pulvérisation et la température. De plus, le HuVII offre un contrôle automatisé du mouvement du substrat, permettant d'optimiser les paramètres de revêtement. Hummer VIII est une machine idéale pour créer des films minces de haute qualité, en raison de sa plate-forme robuste et très flexible et de sa large gamme de caractéristiques de dépôt. Il est bien adapté à diverses applications, y compris le dépôt de supraconducteurs, de conducteurs transparents, de diélectriques et de films magnéto-optiques. De plus, l'outil peut être utilisé pour créer des empilements multicouches, permettant la création de structures de films spécifiques et ciblées. Toutes ces caractéristiques font d'ANATECH Hummer VIII un excellent choix pour le dépôt de couches minces.
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