Occasion ANATECH / TECHNICS Hummer V-A #159053 à vendre en France

ANATECH / TECHNICS Hummer V-A
ID: 159053
Sputtering system, with CEA II Includes: APD Cryogenics, DE202, expander module.
ANATECH/TECHNICS Hummer V-A est un appareil avancé pour le dépôt physique en phase vapeur (PVD) de couches minces. C'est une technique de dépôt avancée qui combine la grande homogénéité de la pulvérisation magnétron avec la flexibilité de l'évaporation d'arc. Le système de pulvérisation a une puissance allant jusqu'à 40 kW et est donc adapté à de nombreuses applications différentes. Il comprend une source d'alimentation pulsée continue et une chambre PVD. L'alimentation électrique est équipée d'une interface utilisateur graphique qui permet à l'utilisateur de définir et de surveiller les paramètres de l'unité. La chambre PVD a un porte-cible rectangulaire ou rond avec un bras robotique pour maintenir la cible. Il est scellé sous vide de manière à pouvoir fonctionner dans des conditions de vide élevé ou de basse pression. La chambre comporte également des supports de substrat isolés et une machine d'injection de gaz. L'outil ANATECH Hummer V-A présente un haut degré de répétabilité et de reproductibilité. Il utilise la pulvérisation à courant continu pour déposer des films avec une excellente uniformité et une composition de couche cohérente. L'actif est également hautement automatisé et peut être utilisé avec une variété de matériaux, y compris des métaux, des oxydes et d'autres films. Il a un e-pistolet qui est idéal pour les processus EVA car il peut être facilement ajusté pour différents matériaux. Le modèle comprend également un équipement de refroidissement spécialement conçu pour favoriser le refroidissement de la cible et du substrat. Le système de refroidissement consiste en un ensemble de bobines de refroidissement qui refroidissent la cible, le substrat et les parties de la chambre. L'unité de refroidissement contribue à améliorer la qualité des films déposés en réduisant les contraintes thermiques. TECHNICS La machine Hummer V-A peut également être utilisée en tandem avec d'autres équipements de pulvérisation, tels que les outils de cluster. La combinaison de ces appareils permet d'augmenter la flexibilité du processus et de réduire les temps de cycle. De plus, l'outil est équipé de dispositifs de sécurité tels qu'un moyen d'interception électronique qui empêche la décharge accidentelle de la source de forte puissance. Dans l'ensemble, le modèle ANATECHHummer V-A est un dispositif robuste et fiable pour le dépôt physique en phase vapeur. C'est un équipement polyvalent qui peut être utilisé dans un large éventail d'applications et offre d'excellentes performances en termes d'uniformité et de répétabilité. Son caractère automatisé le rend facile à utiliser et il est équipé de dispositifs de sécurité pour assurer la sécurité des opérations.
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