Occasion ANATECH / TECHNICS HUMMER V #5717 à vendre en France
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ID: 5717
Manually controlled tabletop sputter system
Process: depositing a conductive coating for visualizing SEM samples
Sputter deposition process is more uniform and reproducible
Yields more adherent films with finer grains than in evaporation systems
A bell jar will be installed on the tool
Internal pump: Mitsubishi Elec. Super Line, single phase induction motor, type SP-NRF
No targets included.
ANATECH/TECHNICS HUMMER V est un équipement de pulvérisation conçu pour fournir des couches uniformes de matériaux organiques et inorganiques sur des substrats plats. Il comprend une chambre à vide et deux porte-échantillons, jusqu'à quatre sources, de multiples gaz de procédé et une large gamme de paramètres de pulvérisation et de dépôt. ANATECH HUMMER V utilise une technique de magnétron inversé (IMT), où les bobines cylindriques transmettent un champ magnétique axisymétrique à la cible de pulvérisation et le matériau pulvérisé est recueilli au milieu du magnétron. La technique IMT permet d'améliorer l'uniformité plasmatique par rapport à la pulvérisation traditionnelle à courant continu. De plus, TECHNICS HUMMER V dispose également d'un fonctionnement à faible courant et basse tension, permettant un meilleur contrôle du processus de pulvérisation. En tant que système de pulvérisation magnétron à courant continu, HUMMER V présente un certain nombre d'avantages par rapport à d'autres techniques de pulvérisation. Tout particulièrement, le fonctionnement à faible courant permet une implantation à faible contrainte, ce qui peut améliorer considérablement l'adhérence des matériaux sur le substrat. En outre, l'unité de distribution de gaz multiple fournit des processus rapides et répétables avec des résultats cohérents à chaque fois. Grâce à l'utilisation de gaz multiples, la source de pulvérisation est capable d'assurer une pulvérisation à la fois réactive et non réactive, permettant le dépôt d'une grande variété de matériaux aux propriétés différentes. ANATECH/TECHNICS HUMMER V est conçu pour fournir une large gamme de paramètres et d'options de fonctionnement, permettant une variété d'applications. En plus de sa machine de pulvérisation à courant continu, ANATECH HUMMER V dispose d'une source d'ions multiples, permettant la création de profils à deux pics et personnalisés de matériaux implantés. En utilisant les sources d'ions multiples, TECHNICS HUMMER V permet également de déposer des couches nobles et non nobles, ainsi que des structures multicouches complexes. L'outil est conçu pour supporter un large éventail de substrats, y compris le silicium, les métaux et d'autres systèmes de matériaux. HUMMER V est un choix idéal pour toute application nécessitant le dépôt de couches de matériaux organiques et inorganiques sur différents substrats. Grâce à ses sources d'ions uniques et à son fonctionnement à faible courant, ANATECH/TECHNICS HUMMER V peut fournir des couches uniformes avec une meilleure adhérence et des processus reproductibles. Avec son large éventail de paramètres opérationnels, ANATECH HUMMER V est un excellent atout pour une gamme d'applications, offrant la capacité de déposer une variété de matériaux avec une couche cohérente et uniforme.
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