Occasion APPLIED VISION ARx10 #9358080 à vendre en France
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ID: 9358080
Style Vintage: 1995
Sputtering system
With pure Zirconium and Silicon targets
(10) IST Lenses
Power supply:
3x110 V, 3 Phase (Main supply)
220 - 240 V, Single phase
1995 vintage
.
APPLIED VISION ARx10 est un équipement de pulvérisation spécialement conçu pour la recherche et le développement. Il dispose d'une combinaison de sources d'énergie unique et double, permettant des applications de pulvérisation polyvalentes. La configuration du système est conçue pour permettre le traitement efficace de divers substrats tels que le verre, les métaux et les matériaux semi-conducteurs. ARx10 a une puissance RF maximale de 10kW, une portée de distance de 90mm-200mm et une enveloppe de travail de 500mm (x) -325mm (y) -150mm (z) pour accueillir des substrats de différentes tailles. La section de puissance de couple utilise trois moteurs pas à pas pour contrôler thêta et phi pour un contrôle précis de l'angle de pulvérisation. Il dispose d'une chambre à vide entourée de deux pompes élévatrices, d'une turbomachine et d'une pompe mécanique. Une unité de pompage différentiel indépendante permet le dépôt de pulvérisateurs sur des substrats à différentes plages de pression pour différentes conditions d'application de pulvérisation. Une machine automatisée de manipulation de substrat offre à l'utilisateur un contrôle complet du processus de pulvérisation. Les fonctions de contrôle avancées permettent à l'utilisateur de surveiller et de modifier des paramètres tels que le débit de gaz, l'angle d'incidence et la puissance du faisceau pendant la pulvérisation. La température de la chambre est maintenue à un niveau constant par un outil actif de régulation de température. De plus, l'actif est équipé d'un bras robotisé motorisé pour faciliter le transfert d'échantillons. APPLIED VISION ARx10 utilise une gamme de techniques de pulvérisation, y compris la pulvérisation de déséquilibre, la pulvérisation par masque d'ombre, la pulvérisation par contact et la co-pulvérisation, pour permettre le dépôt efficace et précis d'une variété de couches minces aux propriétés d'adhérence supérieures. Le modèle dispose également d'un équipement de changement de port de support magnétique qui permet un échange rapide et facile de support et de substrat. La taille compacte et la conception flexible du système le rendent idéal pour une utilisation en laboratoire ou dans le cadre de production. Avec son interface utilisateur intuitive, ses fonctions de contrôle complètes et son unité de gestion efficace des médias, ARx10 fournit une solution complète pour les applications de pulvérisation.
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