Occasion BALZERS 450 #170848 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 170848
Taille de la plaquette: 3"-4"
Sputtering system, 3"-4"
Process: large targets (~9"x5") in a sideways-sputter configuration
Targets sputter inward onto a rotating drum.
Pallets: 3" and 4" wafers.
Drum: Raises vertically out of the top of the chamber
Hydraulic lift: Failure, but using an external hoist to open the chamber
(3) Target slots: Aluminum, Tungsten, Silicon,
Fourth slot is currently set up to perform an RF etch of the substrates and drum
System has never seen any gold or photoresist inside the chamber
Process gas: Argon
Vent gas: Nitrogen
Cryo pump: base pressure of ~5e-7 torr. (~8 hours to pump out)
(2) Power supplies
RGA: 1-100 AMU
Software
PC: Windows 98
Currently installed in a fab.
BALZERS 450 est un équipement de pulvérisation chimique fabriqué par Leybold Optics, un fabricant mondial de composants et de systèmes optiques. Le système est conçu pour être utilisé dans diverses applications industrielles, scientifiques et de recherche, y compris la production de revêtements hautement conducteurs sur des surfaces soumises à la corrosion, à l'abrasion et à d'autres facteurs environnementaux. 450 est composé de plusieurs composants, dont une chambre de pulvérisation, une station de pompage et une unité de dépôt. La chambre de pulvérisation a un volume de quatre cent cinquante litres et est construite en acier inoxydable avec des surfaces revêtues de molybdène et de platine. Les parois de la chambre sont garnies de réflecteurs amovibles et de cadres de retenue pour joints d'étanchéité sous vide. Ceci permet une pulvérisation homogène et une grande répétabilité avec une bonne optimisation des procédés. La chambre comporte également une cible tournante et une hauteur de portance réglable qui permet d'ajuster les paramètres de dépôt sans remplacer la cible. La station de pompage comprend une pompe rotative étanche à l'huile, un servomoteur mécanique et des pompes à vide élevé. Cela garantit d'excellentes performances avec une capacité de pompage allant jusqu'à quatre-vingt-seize mètres cubes par heure et une pression de fonctionnement normale allant jusqu'à un milliTorr. La machine de dépôt, quant à elle, est destinée à pulvériser le matériau cible sur le substrat à une vitesse contrôlée. Ceci est réalisé grâce à l'utilisation d'un collimateur et d'un obturateur cible pour focaliser les faisceaux d'ions pulvérisateurs, ainsi que d'un outil d'écoulement de gaz pour assurer une stoechiométrie parfaite du matériau déposé. L'actif de pulvérisation BALZERS 450 fournit une large gamme de processus de dépôt allant des surfaces optiques à haute densité aux surfaces texturées à grains fins. Il offre également un modèle de contrôle automatisé des processus avec une surveillance en temps réel facultative, qui permet une qualité de produit cohérente avec des coûts de processus moindres. En outre, ses composants de conception fournissent une performance fiable qui permet une plus grande répétabilité des processus et une plus grande rentabilité. 450 est un équipement sûr et fiable conçu pour répondre aux exigences des applications industrielles, scientifiques et de recherche exigeantes.
Il n'y a pas encore de critiques