Occasion BALZERS 810 #293650477 à vendre en France

BALZERS 810 est un équipement de pulvérisation qui utilise la pulvérisation par plasma radiofréquence pour produire des couches minces de métaux, d'alliages et de composés par évaporation thermique ou pulvérisation. Le système se compose d'un large éventail de composants, dont une source d'ions, un étage de plaque, une chambre de dépôt, des alimentations RF, un porte-substrat, une pompe d'évacuation et un contrôleur de processus. La source d'ions est utilisée pour générer le plasma nécessaire pour pulvériser le matériau cible. La source d'ions est typiquement une source électrostatique, d'électrons chauds, ou de plasma haute densité, selon l'application. L'étage de plaquette de l'unité est utilisé pour maintenir le substrat pendant le processus de dépôt. Cette étape est typiquement constituée d'un porte-plaquettes étanche sous vide, qui peut être programmé pour déplacer le substrat en trois dimensions pour améliorer l'homogénéité du dépôt. La chambre de dépôt est le lieu de pulvérisation. Cette chambre est typiquement construite en aluminium et en acier inoxydable, avec un joint étanche au vide et est équipée d'un visuel pour permettre une inspection visuelle du processus de dépôt. La chambre abrite la source d'ions et l'étage de substrat, et est également équipée d'une machine d'échappement pour évacuer les gaz de procédé. Les alimentations RF sont utilisées pour fournir l'énergie électrique nécessaire à la pulvérisation. Ces alimentations fournissent généralement des niveaux de puissance allant jusqu'à 1000 watts et une fréquence de pulsation variable, ce qui permet d'optimiser la fenêtre de processus pour chaque application. Le porte-substrat de l'outil est utilisé pour maintenir le substrat pendant le processus de pulvérisation et est typiquement réalisé en acier inoxydable. Ce support peut être positionné de façon programmable pour permettre une meilleure homogénéité des dépôts. La pompe d'évacuation de l'actif est utilisée pour maintenir une basse pression pendant le processus de pulvérisation et est généralement composée d'une pompe turbo ou de défilement. Le contrôleur de procédé est utilisé pour contrôler les paramètres du procédé, y compris la température, la pression, la puissance et la vitesse de dépôt. Ce contrôleur peut être programmé pour assurer un contrôle précis du processus de dépôt, ce qui permet d'améliorer l'uniformité des dépôts. Dans l'ensemble, 810 est un modèle de pulvérisation hautement avancé qui peut être utilisé pour déposer une large gamme de matériaux pour diverses applications. Cet équipement est idéal pour des applications de recherche et est particulièrement utile pour la réalisation de films ultra-minces de métaux et d'alliages. Le procédé de pulvérisation peut être contrôlé avec précision pour un dépôt uniforme de couches minces de haute qualité.