Occasion BALZERS Circulus M 95/12 #9137154 à vendre en France
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ID: 9137154
Sputtering systems
Turbo pump control cabinet
Pinnacle control cabinet
C-Gun control cabinet
Transformer
Handling system
POLYCOLD Cryopump
Touch screen coating machine:
Single plate static coating system
(12) Cavities
(10) Coating chambers
(2) Material cavities
Magnetic disk coating machine:
Double-sided vacuum coating
Magnetic materials to 130mm, 95mm, 84mm or 65mm
Aluminum alloy / Glass disk substrate.
BALZERS Circulus M 95/12 est un équipement sophistiqué et facile à utiliser pour le dépôt de couches minces pour diverses applications. Ce système dispose d'un générateur électromagnétique sans volonté très précis capable de pulvériser à des énergies allant jusqu'à 95 keV et d'un champ magnétique réglable jusqu'à 12 Tesla, ce qui permet aux utilisateurs de définir exactement les paramètres de dépôt nécessaires à leur processus. Le générateur est relié à une cathode rotative qui peut être tournée pour une homogénéisation améliorée du matériau pulvérisé sur le substrat. La pulvérisation sélective peut encore être améliorée par l'utilisation éventuelle d'électrodes supplémentaires montées autour de la cathode. L'unité est conçue pour un haut débit de production et possède une taille maximale de substrat de 200 à 200 mm avec une ouverture de forme circulaire jusqu'à 12,5 cm de diamètre. Il est équipé d'une machine GFC (Gas Flow Controller) de grande capacité avec contrôle indépendant du gaz et de la pression, permettant un contrôle très précis du processus de pulvérisation. Cet outil offre également des capacités de balayage de tension de haute précision et des modulations de température et de puissance variables grâce à son kit d'autodéposition en option, améliorant encore l'homogénéité sur les substrats. BALZERS Circulus M 95/12 est adapté à une large gamme d'applications de pulvérisation, y compris les supports d'enregistrement magnétique, les transistors à couches minces, les condensateurs, les optiques haut de gamme et les dispositifs MEMS. Cet actif est très fiable et robuste, soutenu par une garantie de 24 mois sur les pièces et la main-d'œuvre et est certifié conforme aux normes CE et UL. Avec son interface conviviale, son centre de contrôle numérique et ses capacités d'enregistrement automatisé des événements, BALZERS Circulus M 95/12 est une machine idéale pour les applications de recherche, de prototypage et de pulvérisation.
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