Occasion BALZERS LLS 801 #9171464 à vendre en France
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ID: 9171464
Taille de la plaquette: 6"
Barrier metal sputtering system, 6"
Water heater
Water manifold
Strong earth magnet
Power supply
(2) Cryo compressors.
BALZERS LLS 801 Sputtering Equipment est un outil avancé de traitement sous vide utilisé pour créer des revêtements de protection sur une variété de substrats. Il est conçu pour déposer des couches minces de matériaux cibles sur la surface d'un substrat afin de réaliser un revêtement protecteur optiquement attractif, chimiquement inerte et mécaniquement durable. LLS 801 Sputtering System s'appuie sur la famille de systèmes LLS déjà renommée de BALZERS, car elle améliore l'uniformité et les taux de dépôt tout en maintenant une répétabilité de processus supérieure. BALZERS LLS 801 L'unité de pulvérisation est composée de plusieurs sous-systèmes importants, dont les suivants : * RF Power Supply : Ce sous-système fournit un moyen de générer la puissance RF nécessaire à la pulvérisation. * Target Magnet Assembly : Ce sous-système comprend deux électro-aimants et une électronique de commande utilisés pour maintenir une force d'attraction stable dans la zone d'écart entre la cible et le substrat. * Target Assembly : L'ensemble cible abrite le matériau cible et dispose d'une électrode RF connectée. * Substrat Assemblage : L'ensemble du substrat contient le porte-substrat et un bouclier à la masse. * Machine à vide : Ce sous-système est constitué d'une pompe à diffusion, d'une vanne à rugosité et d'une turbo-pompe. Le principe de fonctionnement de l'outil de pulvérisation LLS 801 est basé sur le processus de pulvérisation physique. L'alimentation RF génère de l'énergie RF à partir d'une source externe qui est alors directement couplée à l'ensemble cible. Ceci crée une force d'attraction entre la cible et le substrat, de sorte que le matériau cible est rabattu puis déposé sur le substrat. Comme l'alimentation électrique RF est généralement exploitée à près de 13,56 MHz, les cibles sont presque constamment à l'état de plasma vapeur, ce qui contribue à améliorer encore l'uniformité et la vitesse de dépôt, fournies par BALZERS LLS 801 Sputtering Asset. De plus, les deux électroaimants au sein de l'ensemble de l'aimant cible sont utilisés pour aider à maintenir une force d'attraction stable entre la cible et le substrat, ce qui contribue à assurer un revêtement uniforme à chaque fois. Les aimants servent également à réduire la quantité de puissance dissipée dans la cible, contribuant ainsi à rendre le modèle de pulvérisation LLS 801 exceptionnellement économe en énergie. BALZERS LLS 801 L'équipement de pulvérisation est très polyvalent, car il est capable de pulvériser une variété de matériaux. Ce système est largement utilisé dans des industries telles que la fabrication de dispositifs médicaux, la fabrication de composants électroniques, la production d'optique et le revêtement aérospatial. Dans l'ensemble, LLS 801 Sputtering Unit est un outil exceptionnel pour créer des revêtements de protection minces sur une variété de substrats. C'est une machine à pulvériser fiable et économe en énergie qui est capable de déposer des films minces uniformes rapidement et efficacement à chaque fois. Il présente l'avantage supplémentaire d'avoir deux aimants qui maintiennent une force d'attraction constante afin d'assurer une uniformité et une vitesse de dépôt optimales.
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