Occasion BALZERS LLS 801 #9199165 à vendre en France

ID: 9199165
Metal sputtering system.
L'équipement de pulvérisation BALZERS LLS 801 est un outil polyvalent conçu pour assurer un dépôt efficace et précis de couches minces avec des taux de pulvérisation élevés. Le système est équipé d'une tourelle à trois poches, permettant de déposer jusqu'à trois matériaux à la fois avec des vitesses de pulvérisation différentes, conduisant à un dépôt homogène en couches minces. Son unité de verrouillage de charge de grande capacité permet l'installation et l'élimination rapides des substrats, ce qui améliore l'efficacité. La machine est encore améliorée avec une grande chambre de travail, permettant de traiter jusqu'à quatre substrats de 180 mm de diamètre maximum. LLS 801 dispose d'un design modulaire, permettant une large gamme de configurations pour répondre à des besoins spécifiques. Il utilise une pompe à vide turbo à trois étages pour atteindre une pression de base de 7x10-8 mbar. L'outil est équipé d'une alimentation RF 85 MHz, permettant des niveaux de puissance ultra-élevés jusqu'à 800W pour une qualité de film optimale et un débit de pulvérisation. Une alimentation électrique par impulsions en option peut également être utilisée pour des taux de dépôt plus élevés. BALZERS LLS 801 utilise un module de chauffage automatisé de substrat hyperfréquence, permettant un chauffage homogène précis jusqu'à 400 ° C Ce processus est encore amélioré avec un générateur de turbulence qui aide à prévenir les nodules et à assurer une utilisation même ciblée. La modification du mode de pulvérisation est possible grâce à l'incorporation d'un confinement magnétique à balayage de cercle et d'une exception à flux ouvert qui contribue à réduire la répulsion des particules et à améliorer la linéarité de la qualité et de la couverture de film. LLS 801 est un atout de pulvérisation polyvalent et sophistiqué qui peut produire un dépôt efficace et précis de films minces avec les propriétés souhaitées. Sa conception modulaire, ses multiples configurations et ses fonctionnalités améliorées lui permettent de répondre aux besoins d'une variété d'applications. Avec son module de chauffage automatisé des substrats hyperfréquences, son modèle de verrouillage de charge efficace et ses niveaux de puissance ultra-élevés, BALZERS LLS 801 est une solution idéale pour les dépôts de couches minces.
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