Occasion BALZERS SCD 040 #48452 à vendre en France

BALZERS SCD 040 est un équipement de pulvérisation haute performance conçu pour le dépôt précis de couches minces. La plate-forme est équipée de cinq chambres de procédés, deux chambres de dépôt principales, deux systèmes de chauffage et de refroidissement de fond (systèmes thermiques), une chambre de refroidissement à ciel ouvert et une table de substrat plat à haute résolution. Ces chambres peuvent être utilisées pour le dépôt physique en phase vapeur (PVD), le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et les techniques d'évaporation thermique pour le dépôt de films métalliques et diélectriques. Le système offre également la possibilité d'effectuer une ablation laser et des dépôts plasmatiques à basse température. Les chambres de dépôt principales comportent des magnétrons placés dans un support rotatif. Ceci permet une vitesse de pulvérisation beaucoup plus élevée, ainsi que la capacité de transférer instantanément le matériau cible d'une chambre à l'autre sans risque de contamination. Les systèmes de chauffage et de refroidissement de fond intègrent une source de chaleur de type résistif avec contrôle de température de précision pour des vitesses de chauffage et de refroidissement précises. Cette unité est capable de manipuler substrates grand, épais et est idéale pour accomplir l'uniformité de température uniforme de jusqu'à ±0.2 °C. La machine de refroidissement interne peut facilement maintenir la plage de température idéale à l'intérieur des chambres. La chambre de refroidissement à l'air libre SCD 040 est équipée d'un thermocouple à haute sensibilité pour détecter un changement brusque de température à l'intérieur de la chambre. L'outil présente aussi un appartement de haute résolution substrate la table qui est conçue pour garantir le parallélisme dans les deux directions spatiales à dans ±1.5μm. Cette table est couplée à une technique propriétaire de hachage de substrat sans outil qui réduit fortement le temps nécessaire à la fixation d'un substrat avant le début d'un processus de dépôt. L'actif offre également de multiples options de configuration pour les matériaux de revêtement, tels que le titane, l'alumine et le nitrure de titane par exemple. Il est également livré avec un spectromètre de masse stéréo-imageur breveté qui permet une analyse en ligne, en temps réel, de la densité plasmatique multiple pour contrôler la qualité et les performances dans le processus de dépôt. Enfin, BALZERS SCD 040 est conçu pour être télécommandable et utilisable sur le terrain, permettant une communication et une configuration directes depuis n'importe quel endroit distant. Cela le rend parfait pour la recherche et le développement, ainsi que pour les applications industrielles et analytiques.