Occasion BALZERS / UNAXIS LLS 900 #9006623 à vendre en France

BALZERS/UNAXIS LLS 900 Sputtering Equipment est une machine de pulvérisation sous vide de qualité industrielle qui est conçue pour être utilisée dans les semi-conducteurs et d'autres applications avancées en nanotechnologie. Le système LLS 900 de l'UNAXIS est un système de pulvérisation à plusieurs positions modulaire à plusieurs chambres équipé de quatre sources de pulvérisation à 4 cibles. Chacune des quatre chambres peut fonctionner indépendamment de l'autre. Cette unité est adaptée à une variété de procédés de dépôt, y compris la pulvérisation séquentielle, la pulvérisation simultanée et les procédés hybrides simultanés. La chambre principale de BALZERS LLS 900 est construite en acier inoxydable de haute qualité et sous vide pour assurer un fonctionnement propre, cohérent et durable. Ses dimensions internes sont de 18 "x 18" x 24 "(460mm x 460mm x 610mm). Le volume de la chambre est d'environ 12 pieds cubes (340 litres) et la pression de base dans la chambre à vide est de 10-7 Torr (1.3e-6 Pa). La grande surface de travail de la chambre principale est augmentée de quatre chambres externes supplémentaires contenant chacune une source de pulvérisation à 4 cibles. La LLS 900 est équipée de la dernière technologie de machine à pulvériser. Il a intégré des systèmes de contrôle en boucle fermée, dispose d'un outil d'alimentation de haute fiabilité, et utilise des techniques de métrologie sophistiquées pour le contrôle précis des processus. Chacune des sources de pulvérisation à 4 cibles est composée de quatre sources de pulvérisation magnétron ou diode magnétron disposées sur une tête tournante pour assurer une excellente uniformité de dépôt. Pour plus de commodité, les cibles peuvent être changées automatiquement ou manuellement dans la tête de pulvérisation magnétron/diode. Le BALZERS/UNAXIS LLS 900 est également compatible avec une large gamme de matériaux de procédé, y compris les métaux, la céramique, les alliages, les oxydes et les nitrures. La polyvalence et la flexibilité de l'actif le rendent adapté à des applications dans la fabrication de semi-conducteurs, la fabrication de dispositifs à couches minces, le revêtement industriel, et plus encore. Ce modèle est conçu pour répondre aux exigences de production les plus exigeantes et est disponible avec des garanties étendues pour offrir des performances et une fiabilité supérieures dans le temps.