Occasion CANON / ANELVA 1060 SV2+1 #9210357 à vendre en France

CANON / ANELVA 1060 SV2+1
ID: 9210357
Taille de la plaquette: 8"
Sputtering system, 8".
CANON 1060 SV2 + 1 est l'un des systèmes de pulvérisation les plus avancés sur le marché. Il est conçu pour des processus de croissance et de dépôt de films à très haut débit. Il s'agit d'un équipement de pulvérisation à sources multiples qui utilise deux cathodes et un creuset de descente surélevé. Les deux cathodes peuvent être de type magnétique (MP) ou planaire (PP). Le creuset de descente surélevé permet au système de revêtir les deux côtés de substrats avec des matériaux différents en un seul cycle. Le 1060 SV2 + 1 a une large gamme d'applications, y compris l'affichage, semiconducteur, photovoltaïque (PV), et les industries optoélectroniques. Il est capable de pulvériser des motifs complexes d'empilements de films multicouches pour des surfaces avec une grande uniformité et un contrôle précis sur l'épaisseur, la composition et le profil de couche. L'unité est également particulièrement adaptée au dépôt de films de nitrure. Le 1060 SV2 + 1 utilise des systèmes avancés de surveillance et de contrôle in situ pour assurer la qualité et l'intégrité du substrat tout au long du processus de dépôt. Il utilise une machine intégrée en boucle fermée pour surveiller et contrôler les différents paramètres des substrats tels que la pression, la température, la puissance, la tension et le courant. L'outil dispose également d'un atout de vision avancé qui capture des images haute résolution des substrats et permet des ajustements rapides et précis des processus pour assurer l'uniformité et la reproductibilité. Le modèle intègre également un verrou de charge automatisé qui réduit la contamination de la chambre de travail entre les étapes d'échange du substrat et de procédé. En évitant l'intervention manuelle et les purges par étapes, il assure un transfert propre et rapide de la serrure de charge vers les chambres de dépôt. Le 1060 SV2 + 1 offre également un procédé de pré-pulvérisation à basse température en option. Ce procédé peut être utilisé pour le nettoyage post-gravure, le balisage haute résolution, et d'autres étapes qui nécessitent un traitement à basse température. Dans l'ensemble, ANELVA 1060 SV2 + 1 est un équipement de pulvérisation haute performance qui est largement utilisé dans de nombreuses industries en raison de son contrôle précis, une large gamme d'applications, et des systèmes de surveillance et de contrôle in situ. Il offre un traitement rapide, efficace et fiable pour une grande variété de matériaux et de tailles de substrat. Le système est capable de fournir des résultats supérieurs et est fortement recommandé pour tout processus de dépôt.
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