Occasion CANON / ANELVA C-7010 #9379072 à vendre en France

CANON/ANELVA C-7010 est un équipement de pulvérisation thermique haut de gamme conçu pour la production de films minces. Le système utilise des techniques d'évaporation à arc cathodique et de pulvérisation magnétron pour déposer des revêtements sur des substrats tels que la céramique, les métaux et les semi-conducteurs. CANON C-7010 est capable d'appliquer uniformément les matériaux spécifiés sur des substrats dans une gamme d'épaisseurs, et bon nombre des paramètres critiques du processus d'évaporation peuvent être ajustés. L'unité utilise une source d'arc cathodique standard Turbocuspision, capable de fournir des biais brusques et des taux de dépôt très élevés. Une machine de présélection avancée est incluse pour améliorer l'uniformité et réduire les incidents d'arc pendant le processus de dépôt. La source de chauffage du substrat est un radiateur infrarouge céramique, et peut chauffer jusqu'à 500 ° C, permettant des procédés tels que le dépôt à haute température et le recuit thermique rapide. Les fonctionnalités supplémentaires disponibles avec l'outil comprennent Auto Film Thickness Monitor, une fonction automatisée qui lui permet de compenser les différences de taille et d'épaisseur du substrat, et une source de pulvérisation latérale pour le dépôt des films des deux côtés du substrat. L'actif est également capable de manipulation de substrat pour permettre des formes et des tailles de substrat complexes. ANELVA C-7010 comprend également un logiciel de contrôle très avancé, offrant à l'utilisateur des fonctionnalités de niveau PLC et SCADA pour la configuration des tâches, la surveillance opérationnelle et l'enregistrement des données. Le logiciel de contrôle de chambre à boucle étroite inclus aide à protéger le modèle de l'usure, et garantit que le processus de dépôt de film est à la fois efficace et reproductible. Enfin, C-7010 comprend également des dispositifs de sécurité tels que l'arrêt d'urgence, ainsi qu'un équipement d'échappement d'urgence pour une épuration efficace de l'air. Le système a été certifié pour les normes avancées de salle blanche, et est régulièrement testé pour sa compatibilité avec les protocoles existants de salle blanche.